در سالن لیتوگرافی، یک انحراف ۰.۳ درجه سانتیگراد در طول ویفر در حین پخت نرم میتواند پروفیل فوتورزیست را به اندازه نانومتر تغییر دهد—و این خطی است میان تولید محصول قابل فروش و زباله. ما سیستم گرمایش منطقهای را برای کارخانههای پیشرفته ویفر طراحی کردهایم تا این عدم قطعیت را از میان برداریم.
چه چیزی از نظر فنی اهمیت دارد
این سیستم با استفاده از تابشدهندههای کوارتز هالوژنی با موج کوتاه و کنترل مستقل منطقهای کار میکند، بنابراین به سرعت پاسخ میدهد و یکنواختی در سطح ویفر را در ±۰.۱ درجه سانتیگراد در نقاط تنظیمی از ۹۰ درجه سانتیگراد تا ۲۵۰ درجه سانتیگراد حفظ میکند. تکرارپذیری در هر بار پخت در ±۰.۰۵ درجه سانتیگراد قرار دارد، که به این معنی است که مراحل حیاتی پخت—پخت نرم، پخت سخت و پخت پس از تابش—در محدوده مشخص باقی میمانند و به جای تعقیب تغییرات، بر روی مشخصات خود تمرکز میکنند.
بلوکهای گرمایی تقویتشده با فیبر کربن و عایقهای سرامیکی از گاززدایی و تولید ذرات کم نگه میدارند. این پلتفرم برای اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است و دارای مواد مطابق با کلاس ISO 5، سطوح کمذره و مسیرهای هوای سازگار با HEPA میباشد. مانیتورهای ذرهای در محل، عملکرد بدون ذره را تأیید میکنند، بنابراین عیوب ناشی از مرحله پخت به هیچ وجه به بودجه تولید شما نزدیک نمیشوند.
ما مصرف انرژی را با کنترل قدرت پالسدار کاهش میدهیم و MTBF بیش از ۳۰,۰۰۰ ساعت تحت بار مستمر است.
چرا در تولید پایدار است
در یک کارخانه ۳۰۰ میلیمتری، بودجه حرارتی قابل مذاکره نیست. گرمایش منطقهای دما را از لبهای به لبه دیگر تثبیت میکند، بنابراین کنترل CD و تکرارپذیری پروفیل دیواره جانبی در طول دستهها ثابت باقی میماند. شما دقت بیشتری در همپوشانی، کارهای اصلاحی کمتر و پروفیلهای پختی قابل اعتماد به جای تعقیب مداوم نقاط داغ خواهید داشت.
قابلیت اطمینان در این سیستم گنجانده شده است. این سیستم بهصورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته در خطوط آزمایشی با هیچگونه خرابی غیرمنتظرهای کار میکند و تشخیصهای پیشبینیکننده فاصلههای خدماتی را افزایش میدهند.
چه چیزی باید برای آن برنامهریزی کنید
گرمایش منطقهای باید بهدقت درون محفظه حرارتی ابزار فرآیند و باس کنترل یکپارچه شود. تغییرات ممکن است، اما شما باید در طول نصب، فضای مکانیکی و شیلد EMI را تأیید کنید.
برای راهاندازی، یک بازه دو روزه و همچنین یک روز برای اجرای تأیید صلاحیت جهت قفل کردن ماتریس پخت به روی لایههای رزیست خود برنامهریزی کنید.