Comment éviter que les lampes de séchage des wafers ne provoquent des explosions
Soyez honnêtes : placer des lampes infrarouges à haute température dans une chambre remplie de produits chimiques volatils est une idée vraiment dangereuse. On a besoin de cette chaleur pour effectuer le travail, mais en réalité, on met en place une sorte de « bougie » au milieu d’une pièce pleine de vapeurs inflammables. Une lampe ordinaire n’est pas seulement une mauvaise solution ici – c’est même un risque majeur.
C’est pourquoi nous concevons nos systèmes de réflexion et de lampes de manière à ce qu’ils agissent comme une véritable forteresse, isolant complètement la source de chaleur de l’atmosphère ambiante.
Un système de fermeture fiable
Nous ne prenons aucun risque en matière de fermeture des composants. Nous utilisons une méthode hermétique qui garantit que rien ne puisse pénétrer à l’intérieur du boîtier, et que aucune étincelle ne puisse s’échapper. Le réflecteur ne se contente pas de renvoyer la lumière ; c’est aussi votre principal rempart de protection. Nous utilisons du verre de quartz de haute pureté, ainsi que des joints capables de résister aux agents de nettoyage agressifs sans fondre ou se déformer. Vous connaissez ces joints bon marché qui se fissurent dès que la température change ? Nous avons dépassé ce problème.
Diriger la chaleur vers l’endroit voulu
L’objectif est de chauffer uniquement le wafer, et non toute la chambre. Pour ce faire, nous utilisons de l’aluminium recouvert d’or ou à haute réflexivité. Celui-ci concentre les rayons infrarouges en un faisceau dirigé directement vers le wafer. Comme le faisceau est plus étroit, les parois de la chambre restent plus froides, tandis que le wafer reçoit une chaleur beaucoup plus intense. Cela signifie que les cycles de séchage se déroulent plus rapidement. Simple, non ?
Le compromis (cela que la plupart des gens oublient)
Le problème, c’est que les lampes à haute intensité deviennent extrêmement chaudes à leurs terminaux. Comme notre système de fermeture est très hermétique, cette chaleur reste piégée à l’intérieur. Si vous utilisez des lampes à haute puissance, vous ne pouvez pas simplement les laisser fonctionner sans surveillance. Il faut s’assurer que les ventilateurs de refroidissement ou les systèmes de refroidissement liquide soient suffisamment puissants pour gérer cette charge de chaleur. Sinon, les pièces internes atteindront leur limite et cela provoquera l’arrêt du système. C’est ennuyeux, mais c’est toujours mieux que de voir le système tomber en panne.
Si votre alimentation électrique correspond à la tension requise, ces unités peuvent être intégrées facilement dans vos lignes de séchage existantes.