
Réduire les émissions de carbone en salle propre : une manière plus intelligente de sécher les wafer
soyons honnêtes : l’étape de rinçage dans les usines de semi-conducteurs est généralement celle où l’énergie est gaspillée. C’est un véritable gouffre énergétique. Pendant longtemps, on a utilisé de gros fours à convection pour chauffer toute la pièce, rien que pour sécher quelques wafer. C’est extrêmement inefficient.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes infrarouges étanches. Au lieu de chauffer l’air autour du wafer, nous dirigeons la chaleur directement vers l’endroit où se trouve l’eau. C’est un processus plus efficace, qui permet également de réduire notre empreinte carbone.
Gérer le désordre
Les environnements de rinçage sont vraiment difficiles à gérer. Il y a de l’humidité partout, et si une seule goutte atteint les électrodes de la lampe, celle-ci cesse immédiatement de fonctionner. Pour éviter cela, nous utilisons des enveloppes en quartz et des joints hermétiques. Ils empêchent les composants internes de la lampe de devenir humides, tandis que l’extérieur gère l’humidité. Nous utilisons des lampes infrarouges à ondes courtes, car elles parviennent à pénétrer directement la couche d’eau sur le wafer. L’eau sèche en quelques secondes à peine.
Créer une usine plus écologique
Si vous voulez une usine qui ne nuise pas à la planète, il faut cesser de payer pour de la chaleur que l’on n’utilise pas. Les fours traditionnels restent chauds tout au long de la journée, même lorsque rien n’y est placé. Nos systèmes infrarouges, eux, fonctionnent uniquement lorsque c’est nécessaire. La lampe s’allume dès que le wafer entre dans la zone concernée, et s’éteint dès qu’il en sort. Pas de chaleur inutile, pas de dépenses inutiles.
Attention : ces appareils génèrent beaucoup de chaleur
Comme ils sont conçus pour produire une grande quantité de chaleur afin d’économiser de l’espace, ils deviennent très chauds. Vraiment très chauds. Si votre châssis n’est pas conçu pour évacuer cette chaleur, votre équipement pourrait être endommagé ou la température de la station suivante pourrait être perturbée. Il est donc essentiel de bien gérer le flux d’air.
Utilisation pratique
Le meilleur aspect ? Vous n’avez pas besoin de remplacer tout votre équipement. Ce sont en fait des substituts directs pour vos dispositifs de séchage actuels. Il suffit de les connecter à votre système de contrôle logique, afin qu’ils fonctionnent en synchronisation avec la vitesse du convoyeur. Comme ils sont étanches, vous pouvez utiliser un système de rinçage à haute pression sans craindre les éclaboussures.
Un conseil : vérifiez les joints tous les six mois
Cela ne prend que cinq minutes, mais si un joint se détériore, la lampe cesse de fonctionner. Cela entraîne des pertes de temps, des gaspillages de matériaux, et transforme une journée productive en source de problèmes.