MEMS वेफरों को बिना नष्ट किए सुखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना एक चुनौतीपूर्ण कार्य है। नमी को दूर करने हेतु ऊष्मा आवश्यक है… लेकिन ध्यान न रखने पर इन छोट-छोटी, संवेदनशील संरचनाओं को नुकसान पहुँच सकता है।
इसके लिए हम विशेष इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं। लेकिन वास्तव में खास बात तो सोने से ढके हुए रिफ्लेक्टर हैं… ये ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही पहुँचाते हैं, न कि मशीन के अंदर ही।
हम सोने का ही उपयोग क्यों करते हैं?
सामान्य एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर तो ठीक हैं, लेकिन वे बहुत अधिक इन्फ्रारेड ऊर्जा को अवशोषित कर लेते हैं… यह तो बर्बादी ही है।
हम उच्च शुद्धता वाले सोने का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह इन्फ्रारेड ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही पहुँचाता है… इससे ऊष्मा की मात्रा भी कम हो जाती है। ऐसे में आप अपनी मशीन की कुल ऊर्जा आवश्यकता को कम कर सकते हैं… और फिर भी सिलिकॉन पर आवश्यक तापमान प्राप्त कर सकते हैं… यह तो अधिक कुशल ही है।
ऊष्मा का प्रबंधन
जब आप कोई सुखाने वाली प्रणाली तैयार कर रहे होते हैं, तो आपको तेज ऊष्मा की आवश्यकता होती है… सोने के रिफ्लेक्टर ऐसी ही तेज ऊष्मा प्रदान करते हैं… जो तेज गति से सुखाने हेतु आवश्यक है।
लेकिन ध्यान रखें… वेफर को ठीक से संभालें… क्योंकि ऊष्मा इतनी अधिक होती है कि वेफर पर गर्म बिंदु बन सकते हैं… जिससे वेफर को नुकसान पहुँच सकता है।
इसके अलावा, कूलिंग फैनों पर भी ध्यान दें… यदि वे पर्याप्त मजबूत न हों, तो कक्षा में जमा होने वाली ऊष्मा के कारण वातावरणीय तापमान बदल सकता है… ऐसे में प्रक्रिया की दोहरावीता खत्म हो जाती है।
प्रणाली को ठीक रखना
हम इन हीटरों को छोटा ही रखते हैं… ताकि वे वैक्यूम या वायुमंडलीय कक्षाओं में आसानी से फिट हो सकें।
लेकिन ध्यान रखें… सोने की परत बहुत पतली होती है… यदि आप अम्लीय गैसों का उपयोग कर रहे हैं, तो रिफ्लेक्टरों की रक्षा आवश्यक है… वरना रासायनिक पदार्थ उन्हें नष्ट कर सकते हैं।
मैं सलाह दूँगा कि नियमित रूप से रिफ्लेक्टरों की जाँच करें… यदि सोने की परत क्षतिग्रस्त हो जाती है, तो दक्षता कम हो जाती है… ऐसे में आपको अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होगी… और इससे लैंप जल्दी ही खराब हो सकते हैं।