클린룸에서의 탄소 배출 감소: 웨이퍼를 더 효율적으로 건조시키는 방법
솔직히 말해서, 반도체 제조 공정에서의 세척 단계는 에너지가 낭비되는 가장 큰 원인입니다. 이 과정에서 엄청난 양의 전력이 소모됩니다. 오랫동안 우리는 몇 개의 웨이퍼만을 건조시키기 위해 방 전체를 뜨겁게 달구는 방식을 사용했습니다. 이는 매우 비효율적인 방법이었습니다.
그래서 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 웨이퍼 주변의 공기를 가열하는 대신, 열을 정확히 물이 있는 곳에 집중시킵니다. 이렇게 하면 더 효율적이고 깨끗한 처리가 가능해지며, 탄소 배출량도 줄어듭니다.
혼란스러운 환경을 해결하기
세척 환경은 매우 혼란스럽습니다. 곳곳에 습기가 있으며, 만약 물방울 하나라도 램프의 전극에 닿으면 램프가 고장 나버립니다. 이를 방지하기 위해 우리는 석영 커버와 밀폐형 씰을 사용합니다. 이를 통해 램프의 내부는 건조한 상태를 유지할 수 있으며, 외부는 혼란스러운 환경을 견딜 수 있습니다. 우리는 단파 적외선을 사용하는데, 이는 웨이퍼 위의 물층을 즉시 제거해줍니다. 물은 단 몇 초 만에 사라집니다.
더 친환경적인 공장을 만들기
지구를 파괴하지 않는 공장을 원한다면, 필요 없는 열에 돈을 지출하는 것을 멈춰야 합니다. 기존의 오븐들은 아무것도 없어도 계속해서 열을 발생시킵니다. 하지만 우리의 적외선 시스템은 다릅니다. 이 시스템은 “요구 시에만 작동”합니다. 웨이퍼가 해당 구역에 들어오는 순간 램프가 켜지고, 웨이퍼가 떠나는 순간 바로 꺼집니다. 따라서 불필요한 열이 발생하지 않고, 돈도 낭비되지 않습니다.
하지만 주의할 점이 있습니다. 이 장비들은 매우 강력한 열을 발생시킵니다. 공간을 절약하기 위해 고밀도로 설계된 탓에, 열이 매우 높습니다. 만약 케이스가 그 열을 제대로 처리할 수 없다면, 케이스가 변형되거나 다음 단계의 온도가 영향을 받을 수 있습니다. 따라서 적절한 공기 흐름이 필요합니다.
실제 사용법
가장 좋은 점은, 기존의 건조 장비를 모두 교체할 필요가 없다는 것입니다. 이 장비들은 기존의 건조 장비를 대체할 수 있는 제품입니다. PLC 로직에 연결하여 컨베이어의 속도와 동기화시키기만 하면 됩니다.
방수 기능이 있기 때문에, 고압 세척을 해도 걱정할 필요가 없습니다.
단, 6개월마다 씰을 확인해주세요. 5분밖에 걸리지 않지만, 씰이 손상되면 램프가 고장 나버립니다. 그러면 생산성이 떨어지고, 재료도 낭비되며, 좋은 날도 망쳐질 수 있습니다.