MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 열이 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 주의하지 않으면, 이 작고 섬세한 미세 구조들이 손상될 수 있습니다....