더 우수한 반도체 경화 공정을 위한 비결: 금 코팅된 적외선 램프
산업계는 납이 없고 환경 친화적인 경화 방법을 강력히 추구하고 있습니다. 이는 훌륭한 일이지만, 실제로 기계를 운영하는 사람들에게는 문제가 됩니다.
대부분의 공장들은 여전히 대류식 오븐을 사용하는데, 이는 사실상 엄청난 양의 에너지를 낭비하며 방 안의 공기를 따뜻하게 만드는 방식입니다. 이는 비효율적인 방법입니다. 그래서 우리는 금 코팅된 적외선 램프를 사용하기 시작했습니다. 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 웨이퍼에 집중시킬 수 있습니다. 빠르고 간단합니다.
왜 금을 사용할까요?
일반적인 석영 램프를 사용하면 광범위한 스펙트럼의 방사선이 나오습니다. 하지만 반도체 경화 과정에서는 모든 것을 열로 처리할 수는 없습니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 손상될 위험이 있습니다. 따라서 포토레지스트나 접착제를 통과할 수 있는 특정 파장의 빛이 필요합니다.
그래서 석영 램프의 표면에 얇은 금층을 입혀주는 것입니다. 이는 마치 필터와 같은 역할을 합니다. 원하지 않는 장파장의 방사선을 다시 필라멘트로 반사시키고, 에너지를 단파장 적외선 영역으로 전달합니다. 이렇게 하면 더 많은 열이 웨이퍼에 전달되어 처리 시간이 줄어듭니다.
단점은 무엇일까요?
물론 단점도 있습니다. 이러한 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 열 밀도가 너무 높아서 냉각 시스템에 큰 부담을 주습니다. 공기 흐름을 제대로 조절하지 않으면 램프의 끝부분이 과열되어 너무 빨리 고장날 수 있습니다. 단순히 와트수를 높인다고 해서 문제가 해결되는 것은 아닙니다. 시스템이 충분히 냉각될 수 있도록 해야 합니다.
공정 최적화
납이 없는 납땜제와 접착제는 다릅니다. 이들은 기존의 재료들보다 더 높은 온도와 더 정밀한 온도 조절이 필요합니다. 적외선 램프를 사용하면 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 각 램프의 출력을 조절할 수 있으므로, 웨이퍼에 “차가운 부분”이 생기는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
게다가, 유기용제 기반의 가열 방식도 필요 없습니다. VOC나 유해한 연소 생성물도 없습니다. 이는 오래된 오염된 건조 시스템을 대체하는 깨끗한 대안입니다. 그냥 SCR 컨트롤러에 연결해 설정만 해주면 되며, 복잡한 과정은 필요 없습니다.