웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

악몽을 멈추기 위해: 고부하 가열 시 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량의 반도체를 생산하는 곳에서 일해본 적이 있다면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 적외선 램프가 고장 나는 것은 단순한 부품 고장이 아니라 큰 재앙입니다. 갑자기 고장 난 히팅 요소뿐만 아니라, 웨이...