레이저 웨이퍼 다이싱 지원 히터

제조 현장에서는 레이저 다이싱 공정이 어떤 지연도 용납하지 않습니다. 만약 지원용 히터의 성능이 저하된다면, 웨이퍼의 온도 제어가 제대로 이루어지지 않으며, 포토레지스트의 건조 과정도 일관성을 잃게 됩니다. 그 결과 수율도 떨어지고, 공정도 멈추게 됩니다. 저희는 레...