당신의 웨이퍼 건조 시스템에서 에너지 낭비를 막으세요. 솔직히 말해서, 웨이퍼 건조 과정에서는 에너지를 정확하게 필요한 곳에 전달하는 것이 가장 중요합니다. 하지만 만약 아직도 구형이거나 성능이 떨어지는 반사체를 사용하고 있다면, 그건 곧 에너지를 낭비하는 것과 같습...

MEMS 웨이퍼를 손상시키지 않고 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 열이 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 주의하지 않으면, 이 작고 섬세한 미세 구조들이 손상될 수 있습니다....

포장 공정에서는 두 가지 요인이 생산성을 저하시킵니다. 하나는 청소 후에도 남아 있는 수분이며, 다른 하나는 완전히 경화되지 않은 포토레지스트입니다. 갇혀 있는 물은 열이 가해지면 팝콘 형태의 결함으로 변합니다. 제대로 경화되지 않은 포토레지스트는 다이싱 과정에서 흩...

Role 현장에서는 CMP 후 단 한 개의 워터 마크만으로도 수율에 심각한 영향을 미칠 수 있다. 기존 건조 방식은 미세한 물방울을 남기거나 입자를 재부유시켜 이후 리소그래피 공정을 오염시킨다. 우리는 이러한 손실이 시작되는 지점에서 바로 차단하기 위해...

공정 현장에서의 웨이퍼 건조 오븐의 타이머 미작동은 단순한 라인 정지로 끝나지 않습니다. 이는 포토레지스트 소프트 베이크가 부족해지게 하고, 건조 중에 피부가 형성되게 하며, 잔여 용매나 패턴 결함으로 나타날 수 있습니다. 우리는 이러한 열적 단계가 고정되고 반복 가...