서론 저희는 공장의 연속적인 가동을 위해 특별히 설계된 RTP 할로겐 램프를 제조합니다. 이 램프들은 장시간 사용에도 견딜 수 있도록 만들어졌으며, 플라스틱 성형, 코팅 건조, 재료 테스트와 같은 작업에서 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 만약 문제가 발생하더라도 걱정...

Fab 라인에서 RTP 챔버 내 단 한 번의 열 변동은 열 예산을 순식간에 소진시킬 수 있다. 포토레지스트 프로파일이 불안정해지고, 라인 폭 제어가 흔들리며, 수율에 영향을 준다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하고 사이클마다 반복 가능한 열을 제공하기 위해 RTP 할...