IR 램프용 알루미늄 반사판
열을 낭비하지 마세요: IR 램프를 위한 간단한 해결책
IR 램프의 문제점은 바로 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 360도로 열이 방출되기 때문에, 반도체 제조 과정에서는 큰 문제가 됩니다. 이 열을 제어할 방법이 없다면, 그 열 대부분이 기계 내부로 들어가게 되고...
IR 에미터용 세라믹 엔드캡
유리 조각이 떨어지는 것을 막아보세요: IR 램프 고장 대처법
반도체 웨이퍼를 다루는 사람이라면 누구나 그 불안함을 잘 알고 있습니다. 고부하의 작업을 진행하는 중에 갑자기 IR 램프가 고장 나버리는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되...
파브 IR 램프용 쿼츠 슬리브
팹 플로어에서 작업할 때는 절차를 잘 알고 있을 것입니다. 90°C에서의 소프트 베이크가 0.5도만 벗어나도 포토레지스트 프로파일에 영향을 주고 CD 제어가 흔들립니다. IR 램프 주변의 석영 슬리브는 단순한 덮개가 아니라 모든 베이크 공정 단계에서 반복성을 확보하는...