Hentikan kebiasaan memanaskan dinding mesin tersebut.
Jika anda pernah bekerja dengan peralatan semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya situasinya. Anda memerlukan bahagian dalam mesin untuk menjadi panas, tetapi anda tidak mahu keseluruhan struktur mesin menjadi seperti radiator yang besar. Pemanas konvensional sebenarnya hanyalah alat yang memancarkan haba ke semua arah. Ini bermakna para pekerja akan terbakar, dan suhu proses juga akan berubah-ubah kerana mesin itu sendiri menyerap semua haba tersebut.
Ia merupakan masalah yang sangat menyusahkan. Namun, ada cara yang lebih baik untuk melakukannya.
Cara yang terbaik adalah menggunakan sinar inframerah yang berarah.
Bayangkanlah ia seperti lampu suluh, bukannya mentol biasa. Sementara udara panas hanya bergerak secara rawak, radiasi inframerah pula bergerak dalam garis lurus. Kita menggunakan pengeluarkan cahaya berfrekuensi rendah yang mengarah terus ke wafer atau substrat tersebut.
Kehebatannya ialah tenaga tersebut tidak terpengaruh oleh udara, sebaliknya langsung menuju ke objek yang dimaksudkan. Dengan cara ini, kawasan proses boleh menjadi sangat panas, namun dinding mesin tetap sejuk. Anda tidak perlu membazir tenaga pada struktur logam mesin, sebaliknya tenaga tersebut dapat digunakan di tempat yang sepatutnya.
Menjaga kebersihan
Ketika berada di bilik bersih, anda tidak boleh sesuka hati meletakkan pemanas di sana. Anda perlu memastikan tiada zarah atau gas berbahaya di situ. Untuk memastikan kebersihan, kita menggunakan kulit luar yang diperbuat daripada kuarsa berkualiti tinggi serta tiub yang mengandungi halogen.
Kita juga boleh menyesuaikan kuasa dan voltan agar sesuai dengan keperluan anda. Jika anda memerlukan proses yang cepat, gunakanlah tiub berkepadatan tinggi. Ingatlah untuk memastikan sumber kuasa anda mampu menahan beban kuasa yang tinggi, jika tidak, anda akan menghadapi masalah lain.
Masalah yang mungkin timbul (dan cara mengatasinya)
Kami telah merancang agar alat ini boleh digantikan dengan mudah, jadi proses pemasangan pun mudah. Namun, saya harus jujur – ini bukanlah penyelesaian ajaib.
Ke tepatan sangat penting. Jika reflektor tersebut kotor atau sedikit salah sudut, ia akan menyebabkan “titik panas” pada dinding mesin. Anda perlu memastikan sudutnya tepat agar haba dapat sampai ke wafer. Jika sudutnya salah, haba akan mengenai dinding dan bukannya wafer.
Namun, setelah sudutnya disesuaikan dengan betul, segalanya akan menjadi lebih baik. Para teknisi tidak perlu risau tentang risiko terbakar, dan suhu proses juga akan tetap stabil. Ini merupakan cara yang lebih mudah dan efektif untuk mengendalikan haba.