Di fasiliti pengeluaran, proses pengerasan poliimida bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan begitu sahaja. Ia merupakan aspek penting yang perlu dikawal dengan teliti. Jika suhu tidak dikawal dengan tepat, ia akan menyebabkan masalah seperti permukaan yang tidak rata, daya lekat yang lemah, atau tekanan yang boleh merosakkan wafer tersebut. Pada skala pengeluaran masa kini, tiada ruang untuk kesilapan seperti ini.
Apa yang penting dalam proses ini
Proses pengerasan poliimida memerlukan haba yang stabil dan konsisten. Kami memastikan suhu pada setiap bahagian wafer berada dalam lingkungan ±0.1°C, supaya seluruh lapisan poliimida menerima haba yang sama dari hujung ke hujung. Penggunaan haba inframerah gelombang pendek membantu mengurangkan masa pemanasan, sambil mengelakkan kawasan yang terlalu panas.
Sistem ini direka agar dapat beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, bilik operasi dilindungi dengan baik, dan sistem penapisan dalaman memastikan jumlah zarah tetap stabil sepanjang proses pengeluaran. Tidak ada zarah yang dihasilkan semasa proses pengeluaran – itu merupakan syarat yang wajib dipatuhi, dengan pemantauan secara berterusan.
Mengapa sistem ini efektif
Sistem yang sama boleh digunakan untuk proses pengeringan wafer, pemanasan bahan photoresist, pembungkusan wafer, serta proses pengeringan selepas pembersihan – tanpa perlu menyesuaikan semula parameter haba. Kawalan suhu yang tepat membantu meningkatkan kualiti wafer dan memastikan profil sisi wafer yang konsisten.
Ketekunan dalam pelaksanaan proses pengeluaran membantu mengurangkan pembaziran dan kerja ulang, serta mempercepatkan masa pengeluaran. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba inframerah memanaskan lapisan poliimida secara langsung, bukan dinding bilik operasi. Sistem ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan penyelenggaraan yang mudah dilakukan.
Apa yang perlu diingat
Penggunaan haba inframerah memerlukan pandangan yang jelas antara sumber haba dan objek yang dipanaskan. Ketinggian lapisan poliimida dan kadar emisinya juga penting. Kami melakukan ujian awal untuk menentukan parameter yang sesuai untuk ketebalan poliimida tertentu serta lapisan-lapisan di bawahnya.
Saiz sistem ini kompak, dan proses integrasinya mudah. Namun, pastikan semua kemudahan yang diperlukan sudah siap terlebih dahulu – seperti bekalan kuasa, sistem pengudaraan, dan antaramuka bilik bersih – agar proses pemasangan dapat berjalan lancar.