Di lantai fab, pemasa yang terlepas pada oven pengeringan wafer bukan sekadar menghentikan garis. Ia boleh menyebabkan kekurangan fotoresist dalam proses pemanasan lembut, membenarkan pembentukan kulit semasa pengeringan, dan menunjukkan pelarut residu atau kecacatan corak dalam data hasil. Kami membina oven pengeringan wafer yang dilengkapi pemasa untuk memastikan langkah termal tersebut terkunci dan boleh diulang. Masa dan suhu adalah kedua-duanya tidak boleh dirunding dalam litografi dan persiapan wafer.
Inti daripada peranti ini adalah satu tumpukan termal yang dipadankan dengan tugasan. Pemancar inframerah gelombang pendek memberikan pemanasan cepat yang disambungkan secara langsung, dengan keseragaman pada tahap wafer ±0.1°C di seluruh kumpulan. Ruang kuarza yang terintegrasi dan penapisan pengitaran gred HEPA mengekalkan penghasilan zarah pada sifar, supaya anda boleh menjalankan kelas bilik bersih 1–100 tanpa masalah. Pemasa bukanlah satu kemudahan. Ia adalah satu kunci proses yang memaksa masa tepat untuk pemanasan lembut dan pengeringan selepas pembersihan, mengekalkan bajet termal dan menghapuskan gelinciran dari satu kitaran ke kitaran lain. Inilah yang anda peroleh dalam amalan: profil pemanasan fotoresist yang mencapai sasaran dalam beberapa saat, dengan kebolehulangan yang mengekalkan kawalan CD stabil dan mengurangkan lot kerja semula. Kitaran pengeringan selesai dengan kurang pengekalan kelembapan, jadi anda boleh menggerakkan wafer dengan lebih cepat tanpa merosakkan permukaan. Penggunaan tenaga berkurang kerana oven mencapai titik tetapan dengan cepat dan menahannya tanpa melampaui, dan masa beroperasi kekal stabil dengan reka bentuk yang mampu mengendalikan operasi 24/7 dan sejuk dengan cepat antara kumpulan. Pemasangan adalah mudah, tetapi rancang utiliti anda. Oven memerlukan litar kuasa khusus dan udara termampat yang bersih dan kering untuk laluan penyucian dan ekzos. Memadankan pemasa kepada pengawal tuan anda adalah mudah. Namun, semasa kelayakan, sahkan masa resipi berbanding lengkung pemanasan penjual resist anda. Beberapa formulasi lebih sensitif kepada tepi pendakian daripada rendaman sahaja.