Mengeringkan bahan semikonduktor sebelum dipaketkan di kilang pembuatan.
Dalam kilang pembungkusan, terdapat dua faktor yang boleh merosakkan kualiti produk: kelembapan yang masih ada selepas proses pembersihan, dan bahan...
Pemanas pengeringan wafer pasca CMP
Out on the fab floor, a single water mark after CMP is enough to kill yield. Conventional drying leaves behind micro-droplets or stirs up particles...
Penghitung masa untuk oven pengering wafer
Di lantai fab, pemasa yang terlepas pada oven pengeringan wafer bukan sekadar menghentikan garis. Ia boleh menyebabkan kekurangan fotoresist dalam...