ในเส้นทางการผลิตขนาด 300 มม. การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ระหว่างกระบวนการอบฟอโตรีซิสต์นั้นไม่ถือเป็นปัญหาใหญ่ แต่จะส่งผลให้ความกว้างของเส้นขอบเปลี่ยนแปลงไป ทำให้ต้องทิ้งชิ้นงานที่ผลิตออกมา และอัตราการผลิตในเวลา 7 โมงเช้าก็จะไม่เป็นไปตามที่ต้องการ ดังนั้น ความเสถียรทางอุณหภูมิจึงเป็นสิ่งสำคัญมาก ไม่ใช่เพียงแค่สิ่งที่ควรมีเท่านั้น แต่เป็นส่วนหนึ่งของกระบวนการผลิตโดยตรง
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้มาเพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยมีความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต อุปกรณ์ที่ใช้เป็นชนิดควอตซ์-ฮาโลเจน ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ส่วนอุปกรณ์ประเภท NIR ก็ช่วยให้กระบวนการอบเร็วขึ้น โดยไม่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิมากเกินไป
อุปกรณ์เหล่านี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีการยืนยันว่าไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้น และวัสดุที่ใช้ก็ไม่มีการปล่อยก๊าซออกมา สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนไว้ นอกจากนี้ อายุการใช้งานของอุปกรณ์ก็ยังมากกว่า 5,000 ชั่วโมง และมีความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิน้อยกว่า 5%
เหตุใดอุปกรณ์เหล่านี้จึงเหมาะสำหรับโรงงานผลิต ในธุรกิจนี้ ความสามารถในการทำซ้ำกระบวนการผลิตได้อย่างแม่นยำคือสิ่งสำคัญที่สุด อุปกรณ์ของเราช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมขนาดของชิ้นงานได้อย่างดี และค่าที่ได้จากการวัดฟอโตรีซิสต์ก็จะเท่ากันตั้งแต่ชุดผลิตที่ 100 ไปจนถึงชุดผลิตที่ 10,000
คุณจะได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ โดยไม่มีการต้องทำงานซ้ำเนื่องจากปัญหาอุณหภูมิ นอกจากนี้ ยังมีการใช้พลังงานน้อยลงเนื่องจากการออกแบบอุปกรณ์ที่มีประสิทธิภาพ และมีความจำเป็นในการเปลี่ยนอุปกรณ์น้อยลงเนื่องจากอายุการใช้งานที่ยาวนาน สิ่งที่ได้รับคือความสม่ำเสมอในการผลิต และ OEE ที่สามารถคาดการณ์ได้
สิ่งที่ควรวางแผนไว้ อุปกรณ์เหล่านี้ออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้โดยตรงในกระบวนการอบมาตรฐาน แต่การเชื่อมต่อทางอุณหภูมิอาจเปลี่ยนแปลงไปตามรูปร่างของเครื่องอบและการไหลของก๊าซ ดังนั้น จึงจำเป็นต้องมีการทดสอบเพื่อปรับค่า PID และยืนยันความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสำหรับการใช้งานจริง
ควรทำการทดสอบนี้ไว้ล่วงหน้า เพื่อให้ได้โปรไฟล์อุณหภูมิที่สม่ำเสมอในทุกครั้งที่มีการอบชิ้นงาน