ในโรงงานบรรจุภัณฑ์ มีสองสิ่งที่ส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิต นั่นคือความชื้นที่ยังคงหลงเหลืออยู่หลังจากการทำความสะอาด และสารโฟโตเรซิสต์ที่ยังไม่แข็งตัวเต็มที่ ความชื้นที่ถูกกักอยู่จะก่อให้เกิดข้อบกพร่องเมื่อวัสดุถูกทำให้ร้อน ส่วนสารโฟโตเรซิสต์ที่ยังไม่แข็งตัวเต็มที่จะทำให้เกิดรอยขีดข่วนเล็กๆ ซึ่งจะนำไปสู่การสูญเสียวัสดุในที่สุด สิ่งที่จำเป็นคือกระบวนการทำความร้อนที่สามารถขจัดความชื้นออกได้โดยไม่สร้างความเสียหายให้กับฟิล์มบางๆ และสามารถควบคุมการแข็งตัวของสารโฟโตเรซิสต์ได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งสามารถตอบสนองได้ภายในเวลาไม่กี่วินาที โดยจะส่งพลังงานเข้าไปยังความชื้นและฟิล์มโฟโตเรซิสต์โดยตรง บนแผ่นวัสดุขนาด 300 มม. ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ภายในช่วง ±0.1°C และสามารถรักษาค่าอุณหภูมิให้คงที่ได้ภายในช่วง ±0.2°C แม้จะมีการทำงานหลายพันครั้งก็ตาม อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมแบบคลีนรูมระดับ 1–100 โดยมีการออกแบบที่ช่วยลดปริมาณอนุภาค ใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีการยืนยันว่าไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นระหว่างการจัดการแผ่นวัสดุ ปริมาณอนุภาคจะอยู่ในระดับต่ำตลอดกระบวนการอบและการทำให้แห้งก่อนบรรจุภัณฑ์
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในทางปฏิบัติ รังสีอินฟราเรดสามารถทำให้แผ่นวัสดุแห้งได้ภายในเวลาเพียงไม่กี่วินาที ดังนั้นเวลาในการผลิตจึงลดลง โดยไม่ทำให้อุณหภูมิของแผ่นวัสดุสูงเกินไป การอบแบบอ่อนจะช่วยรักษาความสม่ำเสมอของพื้นผิวและความเหนียวของวัสดุได้ ส่วนการอบแบบแข็งจะช่วยให้เกิดการเชื่อมต่อของโมเลกุลอย่างสม่ำเสมอ โดยไม่ทำให้วัสดุแข็งเกินไป ดังนั้นความแข็งแรงของวัสดุจึงเพิ่มขึ้น และจำนวนชิ้นส่วนที่เสียหายก็ลดลง ผลลัพธ์คือมีการปรับแก้น้อยลง มีประสิทธิภาพการผลิตที่แม่นยำ และใช้พลังงานน้อยลงเมื่อเทียบกับเตาอบแบบปกติ อุปกรณ์เหล่านี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีเวลาหยุดทำงานน้อยมาก และมีระบบตรวจสอบผลการผลิตอย่างต่อเนื่อง รวมถึงมีชิ้นส่วนที่สามารถเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็ว
สิ่งที่ควรทราบ รังสีอินฟราเรดจำเป็นต้องมีทิศทางการส่งรังสีที่ชัดเจน และระยะห่างระหว่างเครื่องปล่อยรังสีกับแผ่นวัสดุจะต้องคงที่และสามารถควบคุมได้ เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ การควบคุมอุณหภูมิขึ้นอยู่กับการวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำ และตารางค่าความสามารถในการปล่อยรังสีที่ถูกปรับให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้ เรามีสูตรการใช้งานที่ได้รับการยืนยันแล้วสำหรับฟิล์มทั่วไป แต่สำหรับฟิล์มชนิดใหม่ๆ จำเป็นต้องมีการทดสอบเพื่อกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสม การติดตั้งอุปกรณ์นี้ง่ายมาก โดยเพียงแค่มีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาด และมีระบบกราวด์ที่ดี เพื่อรักษาความเสถียรของสัญญาณรบกวน
สรุปได้ว่า นี่คือระบบควบคุมอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการทำให้แผ่นวัสดุแห้งและการประมวลผลสารโฟโตเรซิสต์ก่อนบรรจุภัณฑ์ โดยมีความสม่ำเสมอ สะอาด และรวดเร็ว