วิธีทำให้แผ่นวัสดุ MEMS แห้งโดยไม่ทำให้มันเสียหาย
การทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้งนั้นต้องอาศัยความสมดุลอย่างมาก คุณต้องใช้ความร้อน และต้องใช้ความร้อนอย่างรวดเร็วเพื่อกำจัดความชื้นออกไป แต่ถ้าคุณไม่ระมัดระวัง ก็อาจทำให้โครงสร้างขนาดเล็กและละเอียดอ่อนเหล่านั้นเสียหายได้
เพื่อให้สามารถทำเช่นนี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เราจึงใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดที่มีความเฉพาะทาง แต่สิ่งที่สำคัญจริงๆ ก็คือตัวกระจกที่เคลือบด้วยทองคำ ตัวกระจกเหล่านี้ช่วยให้พลังงานความร้อนตกกระทบกับแผ่นวัสดุโดยตรง แทนที่จะทำให้เครื่องมือของคุณร้อนขึ้นเท่านั้น
ทำไมเราถึงเลือกใช้ทองคำ (แทนอลูมิเนียม)
คืออย่างนี้ครับ ตัวกระจกอลูมิเนียมธรรมดาก็ใช้ได้ แต่มันจะดูดซับพลังงานอินฟราเรดมากเกินไป ซึ่งเป็นการสิ้นเปลืองพลังงาน
เราจึงเลือกใช้ตัวกระจกที่เคลือบด้วยทองคำที่มีความบริสุทธิ์สูง เพราะทองคำสามารถสะท้อนแสงอินฟราเรดไปยังจุดที่ต้องการได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เกิดลำแสงความร้อนที่มีความเข้มสูง และเนื่องจากพลังงานความร้อนถูกโฟกัสไว้ที่จุดเดียว คุณจึงสามารถลดกำลังไฟของระบบลงได้ โดยยังคงได้อุณหภูมิที่ต้องการบนแผ่นวัสดุได้อยู่ นี่คือวิธีที่มีประสิทธิภาพมากกว่า
การจัดการกับความร้อน
เมื่อคุณตั้งค่าระบบการทำให้แห้ง คุณมักจะต้องการความร้อนที่มีความเข้มสูงในช่วงเวลาสั้นๆ ตัวกระจกทองคำช่วยให้เกิดความร้อนที่มีความเข้มสูงที่จุดที่ต้องการ ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการทำให้แห้งอย่างรวดเร็ว
แต่ก็มีข้อควรระวังด้วยครับ คือต้องคอยดูแลแผ่นวัสดุด้วย เพราะความร้อนที่มีความเข้มสูงอาจทำให้วัสดุเสียรูปได้ นอกจากนี้ อย่าลืมดูแลพัดลมระบายความร้อนด้วย หากพัดลมไม่มีกำลังมากพอที่จะระบายความร้อนที่เกิดขึ้นได้ อุณหภูมิภายในห้องก็จะเพิ่มขึ้น และนั่นก็จะทำให้กระบวนการผลิตของคุณไม่สามารถทำซ้ำได้อีก
การรักษาให้ระบบทำงานได้อย่างต่อเนื่อง
เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนให้มีขนาดเล็ก เพื่อให้สามารถนำไปใช้ในห้องสุญญากาศหรือห้องที่มีอากาศปกติได้
แต่ก็มีสิ่งที่ต้องระวังด้วยครับ นั่นก็คือชั้นทองคำนั้นมีความบางมาก หากคุณทำงานกับก๊าซที่มีความกัดกร่อนสูง คุณควรปกป้องตัวกระจกเหล่านั้นไว้ มิฉะนั้นสารเคมีก็อาจกัดกร่อนตัวกระจกได้
ผมแนะนำให้คอยตรวจสอบอย่างสม่ำเสมอว่ามีรอยบุบหรือการเปลี่ยนสีของตัวกระจกหรือไม่ หากทองคำเริ่มเสื่อมสภาพ ประสิทธิภาพของระบบก็จะลดลง คุณจะต้องเพิ่มกำลังไฟเพื่อชดเชย และนั่นก็จะทำให้หลอดไฟของคุณเสื่อมสภาพเร็วขึ้นกว่าที่ควรจะเป็น