Makinenizin duvarlarını ısıtmayı bırakın.
Eğer daha önce yarı iletken ekipmanlarıyla çalıştıysanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Ekipmanın iç kısmının sıcak olması gerekiyor, ancak tüm kasanın dev bir radyatör haline gelmesini istemiyorsunuz. Standart konveksiyon ısıtıcıları aslında sadece enerjiyi her yere saçan cihazlardır. Bu da operatörlerin yanmasına ve işlem sırasındaki sıcaklıkların düzensizleşmesine neden olur; çünkü makine tüm ısıyı kendisi emiyor.
Bu gerçekten büyük bir sorun. Ama bunu yapmanın daha iyi bir yolu var.
Çözüm: Yöneltilebilir kızılötesi ışınlar kullanmak.
Bunu bir ampul yerine el feneri gibi düşünün. Sıcak hava etrafa yayılırken, kızılötesi ışınlar doğru yönde ilerler. Kısa dalga boylu emicileri kullanarak ısıyı doğrudan wafer veya substrata yönlendirebiliriz.
Buradaki harika olan şey, enerjinin havayı görmezden gelip doğrudan nesneye ulaşmasıdır. Böylece makinenin duvarları dokunulduğunda soğuk kalır. Enerjiyi gereksiz yere metal kasaya harcamaktan kaçınırsınız ve enerjiyi tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendirirsiniz.
Temizliğin önemi
Temiz odalarda herhangi bir ısıtıcıyı kullanamazsınız. Partiküller ve gaz salınımı konularıyla ilgilenmek zorundasınız. Her şeyin temiz kalması için yüksek saflıkta kuvars kaplamalar ve halojen dolu tüpler kullanırız.
Gücü ve voltajı, ihtiyaçlarınıza göre ayarlayabilirsiniz. Eğer işlemlerin hızlı bir şekilde başlamasını istiyorsanız, yüksek yoğunluklu tüpler en uygun seçenektir. Ancak dikkat edin: Güç kaynağınızın bu ani yüklenmeyi karşılayabileceğinden emin olun; aksi takdirde başka sorunlarla karşılaşabilirsiniz.
Sorunlar ve çözümleri
Bunları yerine takılabilir şekilde tasarladık; bu sayede kablo bağlantıları hızlı ve basit oluyor. Ama dürüst olmak gerekirse bu bir sihirli değnek değil.
Hassasiyet her şeydir. Eğer yansıtıcı kirliyse veya açısı birkaç derece yanlışsa, ekipmanın duvarlarında “sıcak noktalar” oluşur. Hedefiniz için geometriyi tam olarak doğru şekilde ayarlamanız gerekir. Açı yanlış olursa, ısı wafer’e ulaşmayıp duvara çarpar.
Ancak doğru hizalamayı sağladığınızda her şey değişir. Teknisyenleriniz yanma riskiyle karşılaşmaz ve termal profiliniz sabit kalır. Bu, ısıyı yönetmenin daha basit ve akıllıca bir yoludur.