Vakum odasında yemek pişirmeyi bırakın.
Eğer daha önce vakum odasının içinde bir wafer veya substratı ısıtmaya çalıştıysanız, bunun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Hedef noktayı ısıtmak için sürekli çaba sarf etmek gerekiyor; aynı zamanda odanın duvarlarının yanmaması da gerekiyor.
Standart IR lambaları aslında güçlendirilmiş ampuller gibidir; ısıyı her yöne yayarlar. Sıkı bir vakum ortamında bu enerjinin büyük bir kısmı iç duvarlardan geri seker. Bu durum hem enerji israfına neden olur, hem de ekipman için ciddi bir sorundur. Ayrıca, makinenin dış yüzeyleri de tehlikeli derecede ısınır ve yakındaki kişiler için risk oluşturur.
Çözüm: Isıyı istediğiniz yere yönlendirmektir.
Sadece sıradan kuvars tüpler kullanmak yerine, özel yansıtıcılar ve kaplanmış emisyon cihazları kullanıyoruz. Bu, floresan lambalardan el fenerlerine geçmek gibidir. Kızılötesi radyasyonu dar bir hüzme haline getiriyoruz.
Sonuç? Substratın ihtiyaç duyduğu ısıya ulaşırken, odanın duvarları soğuk kalır. Çok basit.
Gerekli ekipmanlar ve ticari açıdan dikkat edilmesi gerekenler
Vakum ortamında sıcaklıkları hızla artırmak için genellikle yüksek güçlü halojen lambalar kullanılır. Bunlar, hızlı bir şekilde ısı üreten kısa dalga radyasyonu sağlar. Lambalar, termal şoklara karşı dayanıklı olabilmeleri için kalın kuvars malzemelerle kaplanır.
Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Güç yoğunluğuna dikkat etmek gerekir. Bu kadar çok enerjiyi küçük bir alana yoğunlaştırdığınızda, güç kaynağına büyük bir yük biner. Ayrıca, lambanın hizalanması da mükemmel olmalıdır. Eğer lamba birkaç milimetre bile saparsa, artık hedef noktaya ısı gönderemezsiniz; sadece pahalı ekipmanınızı ısıtırsınız.
Güvenliği sağlamak
Bu, sadece elektrik faturasından biraz tasarruf etmekle ilgili değildir. Aynı zamanda ellerinizi yakmamak da önemlidir. Isının her yere yayılmasını engellediğinizde, makinenin dış kabusu artık devasa bir radyatör gibi davranmaz. Böylece operatörler makinenin etrafında rahatça hareket edebilirler.
Ayrıca bir avantaj daha var: Duvarlar aşırı ısınmadığı için o kadar çok genişlemez veya büzülmez. Bu da vakumlu bağlantıların sağlam kalmasını sağlar ve her hafta sızıntılarla uğraşmanıza gerek kalmaz.