
Daha iyi yarı iletken işlemleri için sır: Altın kaplı kızılötesi lambalar
Sektör, kurşunsuz ve çevre dostu yöntemler kullanmaya yoğun bir şekilde çalışıyor. Bu harika bir gelişme; ancak bu durum, makineleri çalıştıran kişiler için sorun yaratıyor.
Çoğu atölye hâlâ konveksiyon fırınlarına bağımlı; bunlar aslında devasa ısıtıcılar olup, odadaki havayı ısıtmak için çok fazla enerji tüketiyorlar. Bu oldukça verimsiz bir yöntemdir. İşte bu yüzden altın kaplı kızılötesi lambalara yöneliyoruz. Havadan ziyade enerjiyi doğrudan yüzeye yönlendiriyoruz. Böylece daha hızlı ve basit bir şekilde işlem gerçekleştirilebilir.
Peki neden altın kullanılır?
Standart kuvars lambalar kullanıldığında geniş spektrumlu radyasyon elde edilir. Ancak yarı iletkenlerin işlenmesi için her şeyi ısıtmak mümkün değildir. Bunu yaparsanız, waferler yanabilir. Fotoresistlerin veya yapıştırıcıların içinden geçebilecek belirli dalga boylarına ihtiyaç vardır. Bu yüzden kuvars kabuğun üzerine ince bir altın tabakası ekliyoruz. Bu tabaka bir filtre gibi işlev görür; istenmeyen uzun dalga boylu radyasyonu geriye yansıtarak enerjiyi kısa dalga boylularına yönlendirir. Böylece daha fazla ısı yüzeye ulaşır. İşlem süreleri kısalar ve işlem istasyonu tüm odayı sauna haline getirmez.
Ancak bir dezavantaj var…
Bu lambalar çok güçlüdür. Yüksek ısı yoğunluğu nedeniyle soğutma sistemlerine büyük baskı uygulanır. Eğer hava akışı düzgün ayarlanmazsa, lambaların uçları bu ısıyı emerek çok erken yanabilir. Sadece gücü artırarak işleri yoluna koymak yeterli değildir; sistemin bu ısıyı uzaklaştırabilmesi gerekmektedir.
İşlemi daha temiz hale getirmek
Kurşunsuz lehimler ve yapıştırıcılar farklı bir durumdur. Genellikle eski malzemelere kıyasla daha yüksek sıcaklıklar ve daha hassas termal kontrol gerektirirler. Kızılötesi lambalar bu durumu kolaylaştırır; çünkü bireysel lambalara özel ayarlamalar yapılabilir. Böylece wafer üzerindeki “soğuk noktalar” sorunu ortadan kalkar. Ayrıca, çözücülü ısıtma yöntemlerinden de kurtulmuş olursunuz. Hiçbir VOC veya zararlı yan ürün yoktur. Bu, eski, kirletici kurutma sistemlerinin yerine temiz bir alternatiftir. Sadece lambaları bir SCR kontrol cihazına bağlayın, ayarları belirleyin ve radyasyon enerjisinin işi halletmesine izin verin.