
Temiz oda ortamında karbon azaltma: Wafer’leri kurutmanın daha akıllıca yolu
Dürüst olalım; yarı iletken üretim tesislerindeki yıkama aşaması genellikle enerjinin boşa harcandığı bir aşamadır. Bu süreç oldukça fazla enerji tüketir. Uzun süre boyunca, sadece birkaç wafer’i kurutmak için tüm odayı ısıtmak için devasa ısıtıcılar kullanıldı. Bu ise oldukça israf oldu.
Bu yüzden su geçirmez kızılötesi lambalara geçtik. Wafer’in etrafındaki havayı ısıtmak yerine, ısıyı doğrudan suyun bulunduğu yere yönlendiriyoruz. Bu sayede daha verimli ve temiz bir işlem gerçekleşiyor; böylece karbon ayak iziniz de azalıyor.
Karışıklıkla başa çıkma
Yıkama ortamları oldukça berbat durumdadır. Her yerde nem vardır ve eğer tek bir damla bile lambanın elektrotlarına temas ederse, lamba hemen bozulur. Bunu önlemek için kuvars kaplamalar ve hava geçirmez contalar kullanıyoruz. Bunlar lambanın iç kısmını tamamen kuru tutarken, dış kısım ise kaosu kontrol altında tutar. Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıyoruz; çünkü bunlar wafer üzerindeki su tabakasını kolayca delip geçer. Su sadece kurumaz; saniyeler içinde tamamen yok olur.
Daha yeşil bir üretim alanı oluşturma
Eğer gezegeni mahvetmeyen bir fabrika istiyorsanız, kullanmadığınız ısı için para ödemeyi bırakmalısınız. Eski tip ısıtıcılar, içeride hiçbir şey olmasa bile gün boyu sıcak kalır. Bizim kızılötesi sistemlerimiz ise farklıdır. “Talep üzerine” çalışırlar; wafer o alana girdiği anda ısıtıcı devreye girer ve wafer oradan ayrıldığı anda kapanır. Boşa enerji harcanmaz.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Bu cihazlar oldukça güçlüdür. Yer tasarrufu sağlamak için yüksek yoğunlukta enerji üretimi sağlandığından, cihazlar çok sıcak olur. Eğer kasası bu kadar yüksek sıcaklığı uzaklaştırmaya uygun değilse, kasada deforme olmalar veya sonraki işlemlerin sıcaklığını bozmalar mümkün olur. Hava akışının doğru ayarlanması şarttır.
Kullanım şekli
En iyi yanı ne mi? Tüm üretim hattınızı değiştirmenize gerek yok. Bunlar aslında mevcut kurutma sistemlerinin yerine geçebilecek cihazlardır. Sadece PLC sisteminize bağlayarak konveyörün hızıyla senkronize hale getirin ve kullanmaya hazırsınız.
Su geçirmez oldukları için yüksek basınçlı yıkama işlemleri yapılabilir ve damlalar konusunda endişelenmenize gerek yoktur.
Lütfen her altı ayda bir contaları kontrol edin. Bu işlem sadece beş dakika sürer; ancak bir contanın hasar görmesi durumunda lamba bozulur. Bu da üretimin durmasına ve malzemelerin israf edilmesine neden olur.