On litografi katında, yumuşak pişirme sırasında plaka boyunca 0.3°C’lik bir sıcaklık kayması, fotoresist profilini nanometreler mertebesinde kaydırabilir ve bu, verim almak ile hurda üretmek arasındaki çizgidir. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için gelişmiş plaka üretim tesislerinde zonlu ısıtma sistemi geliştirdik.
Teknik olarak önemli olanlar
Sistem, bağımsız bölge kontrolüne sahip kısa dalga halojen kuvars yayıcılar üzerinde çalışır; böylece hızlı tepki verir ve 90°C ile 250°C arasındaki set noktalarında ±0.1°C plaka düzeyi uniformitesi sağlar. Her atış arasındaki tekrarlanabilirlik ±0.05°C düzeyindedir; yani kritik pişirme adımlarınız—yumuşak pişirme, sert pişirme ve pozlama sonrası pişirme—varyans peşinde koşmak yerine spesifikasyona uygun yürür.
Karbon fiber takviyeli ısıtıcı bloklar ve seramik yalıtkanlar, gaz çıkışını ve partikül oluşumunu azaltır. Platform, temizoda Class 1–100 standartlarına göre tasarlanmış olup, ISO Class 5 uyumlu malzemeler, düşük partikül yüzeyler ve HEPA uyumlu hava akımı yönlendirmesi içerir. Yerinde partikül izleyiciler sıfır partikül çalışmayı doğrular; böylece pişirme aşamasından kaynaklanan hatalar verim bütçenize yaklaşmaz.
Enerji tüketimini darbeli güç kontrolü ile azaltıyoruz ve sürekli çalışma altında MTBF 30.000 saatin üzerindedir.
Üretimde neden dayanıyor
300 mm üretim tesislerinde termal bütçe müzakere edilemez. Zonlu ısıtma, sıcaklığı kenardan kenara stabilize eder; böylece kritik boyut (CD) kontrolü ve yan yüzey profili tekrarlanabilirliği partiler arasında tutarlı olur. Daha sıkı hizalama, daha az yeniden işleme ve sıcak noktaları sürekli takip etmek yerine güvenilir pişirme profilleri elde edersiniz.
Güvenilirlik sistemin içine gömülüdür. Sistem, pilot hatlarda 7/24 çalışır ve planlanmamış duruş yaşanmaz; ayrıca kestirimci teşhisler servis aralıklarını uzatır.
Planlamanız gerekenler
Zonlu ısıtma, proses ekipmanının termal ortamına ve kontrol hattına dikkatlice entegre edilmelidir. Retrofit işlemleri mümkündür, ancak kurulum sırasında mekanik mesafeler ve EMI koruması doğrulanmalıdır.
Pişirme matrisini resist katmanınıza kilitlemek için iki günlük devreye alma süresi ve bir günlük kalifikasyon koşusu planlayın.