На поверхні плити для літографії навіть зміна температури на 1°C може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів. Цього достатньо, щоб усі деталі продукції стали не придатними до використання, перш ніж ви це помітите. Процес „м’якого випалювання“ формує профіль фотополімеру, а процес „жорсткого випалювання“ закріплює цей профіль. Жоден з цих процесів не буде ефективним, якщо температура не буде однаковою по всій поверхні плити – а не лише в її центральній частині.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо інфрачервоні лампи для випалювання фотополімеру, які мають короткохвильові світлові емітери у кварцовій оболонці. Це дозволяє досягти швидкого та локалізованого нагрівання з мінімальним навантаженням на саму плиту. Рівномірність температури на поверхні плити залишається в межах ±0,1°C по всій зоні випалювання. Ми контролюємо це за допомогою термопар, розміщених на платформі. Умови у чистій кімнаті також є важливими: матеріали, які не виділяють газів, упаковка, яка відповідає стандартам класу 1–100, а також відсутність частинок під час стабільної роботи системи. Система точно дотримується заданих параметрів, тож кожен процес випалювання відбувається в межах допустимих значень. Використання енергії контролюється за допомогою пульсного керування та відповідних відбивачів – це дозволяє зберігати низьку теплову масу, при цьому рівень випромінювання залишається стабільним.
Чому це використовується у великомасштабному виробництві
У виробництві важливою є стабільність критичних розмірів, менша кількість необхідних корекцій та можливість планування обсягу виробництва. Це дозволяє досягти швидкого нагрівання без перевищення заданих параметрів, скорочити час виконання процедур та зберегти стабільний профіль фотополімеру в кожній партії продукції. Лампи можуть працювати 24/7 з мінімальним зниженням їх ефективності. Ми бачили, що лампи можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням інтенсивності світіння менше ніж на 5%. Це дозволяє подовжити термін служби обладнання та зменшити кількість непланових зупинок. Отже, ми маємо можливість покладатися на стабільність параметрів, оскільки контроль температури забезпечує стабільність якості фотополімеру.
Що потрібно враховувати під час використання
Під час встановлення необхідно правильно налаштувати оптичну систему та забезпечити стабільність спектру випромінювання за допомогою спеціальних пристроїв для регулювання напруги. Також потрібно перевірити матеріал та покриття чанка на наявність поглинання інфрачервоного випромінювання; якщо це не відповідає стандартам, на поверхні плити можуть з’явитися нерівномірності. Лампи також чутливі до чистоти охолоджувальної рідини – необхідно підтримувати низьку її провідність, інакше на оболонці лампи можуть з’явитися гарячі точки. Крім того, необхідно планувати час калібрування для збереження рівномірності температури в межах ±0,1°C та контролю кількості частинок у повітрі.