На виробничому поверсі пропущений таймер на печі для сушіння пластин не є лише зупинкою виробничої лінії. Це може призвести до недостатнього прогріву фоточутливого матеріалу, утворення плівки під час сушіння та прояву залишкового розчинника або дефектів зразків у даних про вихід продукції. Ми розробили нашу піч для сушіння пластин з таймером, щоб забезпечити контроль теплових етапів та їх повторюваність. Час і температура є абсолютно критичними у літографії та підготовці пластин.
Основою є тепловий блок, що відповідає вимогам. Інфрачервоні випромінювачі короткого хвильового діапазону забезпечують швидке нагрівання з прямим з’єднанням, з однорідністю на рівні пластини ±0,1°C по всій партії. Інтегровані кварцові камери та фільтрація рециркуляції HEPA-класу утримують генерацію часток на нулі, тому ви можете працювати в чистій кімнаті класу 1–100 без проблем. Таймер не є зручністю. Це процесний замок, який забезпечує точний час перебування для м’якого випікання та сушіння після очищення, зберігаючи тепловий бюджет і усуваючи коливання між циклами.
Ось що це означає на практиці: профілі випікання фоточутливого матеріалу, які досягають цільових значень за кілька секунд, з повторюваністю, що підтримує стабільний контроль CD та скорочує обсяги повторної обробки. Сушильні цикли закінчуються з меншою затримкою вологи, тому ви можете пересувати пластини швидше, не пошкоджуючи поверхню. Споживання енергії знижується, оскільки піч швидко досягає заданої температури і тримає її без перевищення, а безвідмовність залишається стабільною завдяки конструкції, що витримує безперервну роботу 24/7 і швидко охолоджується між партіями.
Монтаж є простим, але сплануйте свої комунікації. Печі потрібен виділений електричний контур і чисте, сухе стиснене повітря для очищення та витяжки. Відповідність таймера з вашим контролером-хостом є простою. Проте під час кваліфікації перевірте час рецепта відповідно до кривої випікання вашого постачальника фоточутливого матеріалу. Деякі формулювання є більш чутливими до краю підвищення температури, ніж до самого процесу витримки.