Піч для сушки пластин після CMP
Out on the fab floor, a single water mark after CMP is enough to kill yield. Conventional drying leaves behind micro-droplets or stirs up particles...
Таймер для сушильної печі для пластин
На виробничому поверсі пропущений таймер на печі для сушіння пластин не є лише зупинкою виробничої лінії. Це може призвести до недостатнього прогріву...