На літографічному виробництві дрейф температури на 0.3°C по поверхні кремнієвої пластини під час м’якого випікання може змістити профіль фоточутливого матеріалу на нанометри — і це межа між отриманням виробництва та відходами. Ми розробили зональне нагрівання для сучасних фабрик пластин, щоб усунути цю невизначеність.
Що важливо з технічної точки зору
Система працює на кварцових випромінювачах з короткими хвилями з незалежним контролем зон, тому вона швидко реагує та підтримує однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C при заданих температурах від 90°C до 250°C. Повторюваність між пострілами становить ±0.05°C, що означає, що ваші критичні етапи випікання — м’яке випікання, твердое випікання та постекспозиційне випікання — залишаються в межах специфікацій, а не переслідують варіації.
Блоки нагріву з вуглецевого волокна та керамічні ізолятори зменшують виділення газів та утворення часток. Платформа спроектована для чистих приміщень класу 1–100, з матеріалами, що відповідають класу ISO 5, поверхнями з низьким вмістом часток та повітряними потоками, сумісними з HEPA. Монітори часток в режимі in-situ підтверджують роботу без часток, тому дефекти з етапу випікання не потрапляють у ваш бюджет виробництва.
Ми зменшили споживання енергії за допомогою управління імпульсною потужністю, а середній час безвідмовної роботи (MTBF) становить більше 30,000 годин при безперервному режимі.
Чому це витримує виробничі умови
У фабриці на 300 мм термічний бюджет не підлягає обговоренню. Зональне нагрівання стабілізує температуру від краю до краю, тому контроль CD та повторюваність профілю бічної стінки залишаються консистентними між партіями. Ви отримуєте більш щільне накладання, менше переробок і профілі випікання, яким можна довіряти, а не постійно переслідувати гарячі точки.
Надійність закладена в конструкцію. Система працює 24/7 на пілотних лініях без незапланованих простоїв, а прогностична діагностика подовжує інтервали обслуговування.
На що слід звернути увагу
Зональне нагрівання потрібно ретельно інтегрувати в тепловий контур та контрольну шину процесу. Можливі модернізації, але вам потрібно буде перевірити механічні зазори та екранізацію від електромагнітних перешкод під час встановлення.
Заплануйте два дні на введення в експлуатацію та один день на кваліфікаційний запуск, щоб закріпити матрицю випікання до вашого шару резисту.