
Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình nung phim quang hóa cũng không gây ra vấn đề gì nghiêm trọng. Những thay đổi này chỉ biểu hiện qua sự sai lệch về chiều rộng đường viền của các linh kiện, dẫn đến việc phải loại bỏ những sản phẩm không đạt tiêu chuẩn. Ngoài ra, tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng cũng giảm xuống mức không mong muốn. Độ ổn định nhiệt độ không phải là yếu tố “không thể thiếu”; đó chính là yêu cầu cơ bản trong quy trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng cần lưu ý Chúng tôi thiết kế những thiết bị này để đáp ứng các yêu cầu về kiểm soát nhiệt độ trong quy trình in ấn. Các thiết bị này có khả năng duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ diện tích wafer. Các bộ phận làm từ thạch anh-halogen giúp tạo ra mô hình bức xạ ổn định. Các phiên bản sử dụng ánh sáng hồng ngoại giúp quá trình gia nhiệt diễn ra nhanh hơn mà không gây ra sự sai lệch nhiệt độ.
Những thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, với mức độ tạo ra hạt bụi bằng không. Độ bền của chúng lên tới hơn 5.000 giờ, và sự sai lệch về nhiệt độ khi hoạt động chỉ dưới 5%.
Tại sao chúng lại được sử dụng trong các nhà máy sản xuất Trong ngành công nghiệp này, tính lặp lại là yếu tố quan trọng nhất. Các hệ thống của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, giúp kiểm soát các thông số kỹ thuật một cách chính xác, từ lô sản phẩm thứ 100 cho đến lô thứ 10.000.
Bạn sẽ có được hiệu suất sản xuất ổn định, không cần phải sửa chữa do sự thay đổi nhiệt độ. Ngoài ra, việc sử dụng các thiết bị này còn giúp tiết kiệm năng lượng nhờ vào khả năng kết nối nhiệt hiệu quả, cùng với việc giảm số lần thay thế linh kiện do độ bền cao. Kết quả là: ít sai lệch hơn, phân bố chất lượng ổn định hơn, và tỷ lệ hiệu suất hoạt động cao hơn.
Những điều bạn cần lên kế hoạch trước Những thiết bị này được thiết kế để có thể được sử dụng ngay trong các quy trình nung tiêu chuẩn. Tuy nhiên, khả năng kết nối nhiệt sẽ thay đổi tùy theo cấu trúc buồng nung và dòng khí. Do đó, cần tiến hành các thử nghiệm ban đầu để điều chỉnh các thông số PID và xác nhận mức độ đồng đều nhiệt độ trong buồng nung.
Hãy làm điều này ngay từ đầu. Bạn sẽ có được mô hình nhiệt độ ổn định, không bị thay đổi qua các lần nung liên tiếp.