Trong quy trình sản xuất, việc làm khô chất polyme polyimide không phải là một bước có thể bỏ qua được. Đó là một quá trình đòi hỏi phải kiểm soát chính xác nhiệt độ. Nếu nhiệt độ không được duy trì ở mức chính xác, thì lớp phủ sẽ không thể được tạo ra một cách hoàn chỉnh, độ dính giữa các lớp sẽ kém, và wafer có thể bị biến dạng do áp lực nhiệt. Trong các quy trình sản xuất hiện đại, không thể chấp nhận sai số như vậy.
Điều quan trọng cần lưu ý Việc làm khô chất polyme polyimide đòi hỏi nhiệt độ ổn định và có thể kiểm soát được. Chúng tôi giữ cho nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, để toàn bộ lớp phủ nhận được cùng một mức nhiệt độ từ đầu đến cuối. Phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại ngắn bước sóng phù hợp với khả năng hấp thụ nhiệt của chất polyme polyimide; điều này giúp rút ngắn thời gian sấy khô, đồng thời tránh tình trạng xuất hiện các điểm nóng trên bề mặt wafer.
Khả năng tương thích với môi trường phòng sạch loại 1–100 cũng được tích hợp vào thiết kế: các vật liệu ít thải khí, buồng kín, và hệ thống lọc bụi giúp duy trì mức độ bụi ở mức ổn định trong suốt quá trình sản xuất. Việc loại bỏ hoàn toàn bụi không phải chỉ là khẩu hiệu – đó là yêu cầu bắt buộc mà chúng tôi tuân thủ, thông qua việc giám sát liên tục.
Tại sao hệ thống này lại hiệu quả? Cùng một hệ thống có thể thực hiện các công việc như sấy khô wafer, xử lý chất phủ quang học, đóng gói wafer, và sấy khô sau khi vệ sinh wafer – mà không cần phải điều chỉnh lại thông số nhiệt độ. Việc kiểm soát chính xác nhiệt độ giúp tăng độ chính xác trong việc kiểm soát kích thước wafer, đồng thời giúp đảm bảo độ đồng đều của các bề mặt wafer.
Khả năng lặp lại quy trình sản xuất giúp giảm tỷ lệ sản phẩm lỗi, rút ngắn thời gian sản xuất, và nâng cao hiệu suất. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì tia hồng ngoại sưởi ấm trực tiếp lớp phủ, chứ không phải các bức tường của buồng sản xuất. Hệ thống này có thể hoạt động 24/7, với việc bảo trì có kế hoạch, thay vì gặp sự cố và phải dừng máy.
Những điều bạn cần lưu ý Phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại đòi hỏi phải có tầm nhìn rõ ràng, vì vậy chiều cao của lớp phủ và hệ số phát xạ cũng rất quan trọng. Chúng tôi tiến hành các thử nghiệm nhỏ để xác định chính xác thông số nhiệt độ phù hợp với độ dày của lớp polyme polyimide và các lớp phủ bên dưới.
Kích thước của hệ thống khá nhỏ, và việc tích hợp nó vào dây chuyền sản xuất cũng khá đơn giản. Tuy nhiên, bạn cần chuẩn bị sẵn các yếu tố cần thiết như nguồn điện, hệ thống thoát khí, và các thiết bị liên quan đến môi trường phòng sạch, để tránh gián đoạn quy trình sản xuất.