Trên bề mặt wafer, độ ổn định của nhiệt độ trong quá trình nung chính là yếu tố quyết định đến kích thước và hình dạng của lớp phim quang học. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ, độ rộng của các đường vẽ trên wafer cũng sẽ thay đổi, điều này ảnh hưởng trực tiếp đến quá trình khắc. Chúng tôi đã thiết kế các tấm sưởi bằng chất liệu gốm có khả năng phát sóng hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Bộ phận cốt lõi của tấm sưởi này là các linh kiện gốm có khả năng phát sóng cao, kết hợp với sóng hồng ngoại tần số thấp. Nhờ đó, việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và hiệu quả, với mức nhiệt độ ổn định ở mức ±0,1°C. Ngay cả khi hoạt động 24/7, mức độ ổn định nhiệt độ vẫn được duy trì ở mức ±0,2°C.
Tấm sưởi này cũng có thể hoạt động tốt trong các phòng sạch loại 1–100. Bề mặt gốm được đóng kín cùng với các vật liệu ít phát khí giúp kiểm soát số lượng hạt bụi, đồng thời không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình vận hành. Tốc độ phản ứng của tấm sưởi rất nhanh – chỉ trong vài milligiây – giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó tránh được tình trạng vượt quá mức nhiệt độ cho phép.
Dù đó là các thiết bị dùng trong quá trình in ấn hay các thiết bị nung riêng lẻ, thì khả năng kiểm soát nhiệt độ này cũng giúp đảm bảo độ ổn định của kích thước wafer, giảm thiểu các khiếm khuyết trên lớp phim quang học, và mang lại khả năng chọn lọc cao trong quá trình khắc. Bạn có thể rút ngắn thời gian nung mà vẫn giữ được độ ổn định của kích thước wafer, đồng thời tiết kiệm năng lượng nhờ khả năng kết nối sóng hồng ngoại hiệu quả. Ngoài ra, việc bảo trì cũng trở nên dễ dàng hơn. Với khả năng duy trì độ ổn định nhiệt độ trong mỗi lần vận hành, quy trình sản xuất sẽ diễn ra thuận lợi hơn.
Chỉ cần lưu ý đến các hạn chế thực tế. Tấm sưởi cần được lắp đặt trong môi trường có khả năng chịu nhiệt tốt, cùng với hệ thống cấp điện sạch để đảm bảo tính ổn định của vòng tuần hoàn nhiệt. Độ chính xác trong quá trình lắp đặt cũng rất quan trọng – phải trong khoảng 0,1 mm. Bạn cũng cần chọn lựa các vật liệu phù hợp để kiểm soát việc phát khí từ tấm sưởi.
Nếu việc đối chiếu vị trí được thực hiện đúng cách, tấm sưởi sẽ hoạt động hiệu quả trong các thiết bị hiện có, từ đó mang lại khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác mà các quy trình in ấn và khắc yêu cầu.