在提高温度的同时保持洁净室清洁 如果不小心的话，要让100级洁净室始终保持干净确实是个难题。这不仅仅与空气过滤器有关。如果加热元件开始释放颗粒物或气体，那可就麻烦了。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。普通的玻璃或劣质材料根本无法满足要求——它们容易碎裂、老化。一旦这些微小的碎片...

在300毫米光刻线上，光阻烘烤过程中2℃的温差并不会带来什么问题。不过，这种温差会导致线宽出现偏差，进而导致产品报废，同时也会让生产良率下降到不理想的水平。因此，热稳定性并非可有可无的附加功能，而是工艺流程中的核心要素。 真正重要的因素 我们设计的这些设备旨在确保光刻过程的温度控制精度——无论是软...