晶圆制造中的聚酰亚胺固化工艺
在芯片制造过程中,聚酰亚胺的固化并非一个可以简单忽略的步骤。实际上,它属于需要精确控制的热处理过程。如果温度控制出现哪怕几度的偏差,就可能导致薄膜无法完全固化,从而影响粘附力,或者让晶圆出现变形。在当今的芯片制造技术中,这种误差是绝对不可接受的。
关键在于稳定的热量供应
聚酰亚胺的固化需要稳定且可...
用于制造红外灯的石英套管
在晶圆厂车间,你对流程了如指掌。90°C 的软烘烤温度,即便偏差半度,也会扰乱光刻胶的剖面,影响关键尺寸(CD)控制。围绕红外灯的石英套管不仅是保护罩——它是确保每一步烘烤重复性的热界面。
核心要点
我们为短波和中波红外灯定制这些套管,以匹配您快速且均匀加热晶圆所需的光谱范围。材料采用高纯度熔融石...