线性红外加热发射器

在晶圆厂车间，热偏差不仅是效率低下的问题，更是良率杀手。即使软烘烤温度偏差一度，也会导致光刻胶厚度分布不均；而干燥过程温度不足则会残留水分，破坏图案完整性。线性红外加热发射器通过将可控能量直接投射到目标上，消除这类风险。 技术关键点 我们对线性IR发射器的规范集中在可重复的波长控制和严格的热均匀性...