真空室红外加热器

停止在真空环境中加热工件吧 如果你曾经尝试过在真空环境中加热晶圆或基材，那你一定知道这有多困难。要让目标物体变热的同时又不让真空室的壁面被烧坏，实在是一件很棘手的事情。 普通的红外线灯其实就像加强版的灯泡——它们会向各个方向散发热量。在密闭的真空环境中，大量热量会反射到内壁上去。这不仅浪费了能源，...