RTP卤素灯更换

在晶圆厂车间，RTP腔体中一次热偏差就能瞬间耗尽你的热预算。光刻胶剖面开始漂移，线宽控制失效，良率受到影响。我们设计的RTP卤素灯替换件旨在消除这种不确定性，实现可重复的加热效果，循环稳定。 以下是其核心结构。该灯采用短波卤素发射器，封装在石英灯罩内，针对快速辐射响应进行了调校。我们根据腔体几何形...