晶圆干燥炉定时器

在生产车间，晶圆干燥炉上错过的定时器不仅仅是停线。它可能会导致光刻胶的软烘烤不足，在干燥过程中形成皮膜，并在产量数据中显示残留溶剂或图案缺陷。我们构建了带定时器的晶圆干燥炉，以确保这些热处理步骤的锁定和可重复性。定时和温度在光刻和晶圆准备中都是不可妥协的。 其核心是与工作相匹配的热堆叠。短波红外发...