最适合用于光刻胶的红外灯

在光刻工艺中，如果烘烤温度出现1摄氏度的变化，就可能导致关键尺寸发生几纳米的偏差。这样的误差足以让整批产品报废，而操作人员往往不会立刻察觉到这个问题。所谓的“软烘烤”只是用来调整光敏剂的性质，而“硬烘烤”则是为了固定这些性质。不过，只有当晶圆上的温度分布均匀时，这两种工艺才能发挥作用——不能只有某...