高温環境下でもクリーンな状態を維持するために
クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは、注意を払わないと非常に困難です。問題は空気フィルターだけではありません。もし加熱要素から微粒子や有害物質が放出されるようになったら、大きな問題が生じます。
そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。普通のガラスや安価な素材では不十分です。それらはすぐに剥がれ落ちたり、劣化したりします。そして、その微小な粒子がウェーハや基板上に付着すると、製品が台無しになってしまいます。
秘密は石英にあります。
高純度の石英を使用することで、微粒子が外部に漏れ出るのを防ぎます。さらに、急激な温度変化にも耐えられるため、急速な加熱や乾燥が必要な場合にも安心です。
管の内部にはハロゲンガスが充填されており、これによってタングステンフィラメントが早く蒸発するのを防ぎます。また、ガラスの内側を清潔に保ち、何千時間も使用しても出力が安定し続けます。
設置方法
これらのランプは、そのまま交換可能です。全ての装置を再設計する必要はありません。また、さまざまな接続オプションも用意されています。電気的な接続が不安定だと放電が起こり、金属粉が発生します。それは絶対に避けたいことです。
一つ注意点として、熱密度が非常に高いということです。高出力のランプは、狭い空間に大量のエネルギーを与えます。これは生産効率には良いですが、筐体にとっては大きな負担になります。必ず冷却ファンや水冷装置が適切に機能しているか確認してください。そうでなければ、筐体が変形したり、有害物質が放出されたりする可能性があります。
地球環境と電気代に優しい
最も良い点は、短波長の赤外線を使用しているため、エネルギーが直接ワークピースに届くということです。部屋の空気を温めるためにお金を無駄にすることがないので、HVACシステムも過度に働く必要がありません。これらのランプは24時間365日の連続稼働にも耐えられるように作られているため、交換回数が減り、廃棄物も大幅に削減されます。