높은 온도에서도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 것은 쉽지 않습니다. 단순히 공기 필터만으로는 충분하지 않습니다. 만약 가열 요소에서 입자나 유해 가스가 발생한다면, 큰 문제가 생깁니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 일반적인 유리나 저품질의 재료는 사용할 수 없습니다. 그런 재료들은 쉽게 부서지거나 변질됩니다. 그리고 그 작은 입자들이 웨이퍼나 기판에 닿으면, 그 제품은 버려져야 합니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
우리는 고순도의 석영을 사용하기 때문에 입자가 밖으로 새어나오지 않습니다. 게다가 급격한 온도 변화에도 깨지지 않으므로, 빠르게 가열해야 하는 상황에서도 안정적으로 작동합니다.
튜브 내부에는 할로겐이 포함된 가스 혼합물이 들어 있습니다. 이를 통해 텅스텐 필라멘트가 너무 빨리 증발하는 것을 막아줍니다. 또한 유리 내부를 깨끗하게 유지하고, 수천 시간 동안 사용해도 와트수가 일정하게 유지됩니다.
설치 방법
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 장비를 다시 설계할 필요가 없습니다. 또한 다양한 커넥터 옵션도 제공됩니다. 전기 연결이 느슨하면 아크가 발생하여 금속 가루가 생길 수 있습니다. 이는 결코 원하지 않는 상황입니다.
한 가지 주의해야 할 점은 열 밀도가 매우 높다는 것입니다. 고출력의 램프들은 작은 공간에 엄청난 에너지를 집중시킵니다. 이는 생산 효율을 높이는 데는 좋지만, 장비가 감당하기에는 부담스러울 수 있습니다. 따라서 냉각 팬이나 수랭 시스템이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 손상되거나 유해 가스가 발생할 수 있습니다.
환경과 비용 절약에도 도움이 됩니다.
가장 좋은 점은, 단파 적외선을 사용하기 때문에 에너지가 직접 작업물에 전달된다는 것입니다. 그래서 방 안의 공기를 데우는 데 드는 비용이 줄어듭니다. 결국 HVAC 시스템도 과도하게 작동하지 않아도 됩니다. 이 램프들은 24/7으로 작동해도 견딜 수 있도록 만들어졌습니다. 그래서 교체 횟수가 줄어들고, 쓰레기도 줄어듭니다.