와이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 램프 설계가 왜 중요한가
반도체 공장에서 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동이 중단되는 것만이 문제가 아니라, 그 이후에 발생하는 문제도 심각합니다. 만약 석영관이 고온 상태에서 파손된다면, 유리 조각과 증발한 금속들이 와이퍼 위로 떨어집니다. 이는 와이퍼의 성능을 즉시 저하시킵니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 특별히 탄소섬유로 만든 IR 램프를 개발했습니다.
열 문제 해결
대부분의 램프는 전력을 빠르게 공급할 때 고장 납니다. 중심부에는 높은 전력이 공급되지만, 양쪽 끝부분은 비교적 차가워집니다. 이러한 온도 차이로 인해 엄청난 기계적 응력이 발생합니다.
이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 열팽창률이 매우 낮아, 빠른 전력 공급 상황에서도 균열이 생기지 않습니다.
또한 필라멘트도 중요합니다. 우리는 텅스텐 대신 탄소섬유를 사용하는데, 이는 열을 더 잘 견딜 수 있기 때문입니다. 전압이 급격히 변해도 필라멘트가 파손되지 않습니다. 또한 필라멘트의 장력도 매우 중요합니다. 장력이 약해지면 과열이 발생하고, 그 결과로 석영관이 파손됩니다. 간단하지만 중요한 요소입니다.
입자 방지
우리는 와이퍼에 이물질이 닿지 않도록 두 단계의 방식을 사용합니다. 첫째, 내부를 고진공 상태로 만들어 내부의 이물질을 제거합니다.
매우 높은 부하가 걸리는 경우에는 외부 보호관을 사용합니다. 이는 일종의 보험과 같은 역할을 합니다. 주 램프가 고장 나더라도, 이 보호관이 모든 것을 막아줍니다.
단, 한 가지 단점이 있습니다. 추가된 유리층으로 인해 IR 광의 전달이 약간 줄어듭니다. 따라서 원하는 온도를 유지하기 위해서는 전력 설정을 조정해야 합니다.
실용적인 요소들
작은 것들도 중요합니다. 우리는 전기 아크가 발생하지 않도록 특수한 엔드캡을 사용합니다. 전기 아크가 발생하면 석영관이 손상될 수 있습니다.
전선도 단단히 연결되어 있는지 확인해야 합니다. 또한 냉각 팬도 반드시 점검해야 합니다. 냉각 시스템이 작동하지 않으면, 아무리 고성능의 안전 유리를 사용해도 열 폭주를 막을 수 없습니다.