متوقف کنید این وضعیت ناخوشایند را: چگونه با خرابی لامپهای مادون قرمز برخورد کنیم
هر کسی که تجربه کار با ویفرهای نیمههادی را داشته باشد، این احساس را میشناسد. شما در حال انجام فرآیندهای پربار هستید، و ناگهان لامپ مادون قرمز خراب میشود.
مسئله فقط مربوط به توقف فرآیند نیست؛ بلکه مشکلات بعدی نیز وجود دارد. وقتی لوله کوارتز خراب میشود، تکههای شیشه و گاز هالوژن روی ویفرها میافتند؛ این وضعیت واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل از درپوشهای سرامیکی استفاده میکنیم.
نحوه عملکرد آنها
موضوع این است که کوارتز در اثر گرما منبسط و منقبض میشود. وقتی ولتاژ بالایی وارد میشود، نقطه تماس الکترود با لوله تحت فشار قرار میگیرد؛ این همان جایی است که لوله ممکن است خراب شود.
ما از درپوشهای سرامیکی با خلوص بالا برای جداسازی اتصالات الکتریکی از بدنه کوارتز استفاده میکنیم. میتوانید آنها را مانند یک دیوار حفاظتی در نظر بگیرید؛ اگر لوله خراب شود، درپوش سرامیکی تکههای شیشه را جذب میکند و از فرو ریختن لامپ درون محفظه فرآیند جلوگیری میکند.
حفظ پایداری فرآیند
ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند گرمای زیاد را تحمل کنند. سرامیک میتواند نوسانات دمایی شدید را بدون خراب شدن تحمل کند؛ این کار از ایجاد مشکلات در اتصالات الکتریکی جلوگیری میکند.
دیگر نیازی به تکان خوردن لامپ نیست؛ دیگر نیازی به خراب شدن زودهنگام لامپ نیست. فقط یک مسیر الکتریکی پایدار و تمیز وجود دارد.
اما یک مشکل وجود دارد: این درپوشها باعث میشوند لامپ کمی بلندتر شود. باید مطمئن شوید که فضای کافی برای لوله وجود داشته باشد؛ اگر لوله را خیلی محکم فشار دهید، یک نقطه فشار جدید ایجاد میشود و در واقع هدف اصلی استفاده از درپوشهای سرامیکی از بین میرود.
تأثیر این موضوع بر بازدهی کار
در نهایت، موضوع مربوط به ویفرهای شماست. وقتی از سقوط تکههای شیشه درون دستگاه جلوگیری میکنید، از آلودگی قبل از شروع فرآیند جلوگیری میکنید. اتاق تمیز باقی میماند؛ شما زمان کمتری برای تمیز کردن محفظه صرف میکنید و زمان بیشتری برای انجام کارهای مربوط به تولید محصول صرف میکنید.
این روش، یک فاجعه احتمالی را به یک راهحل ساده تبدیل میکند؛ شما فقط لوله را عوض میکنید، محیط را تمیز میکنید و دوباره فرآیند را ادامه میدهید. ساده است.