جلوگیری از شکستن لامپها: چرا طراحی لامپهای مادون قرمز اهمیت دارد
اگر تا به حال شاهد شکستن لامپ مادون قرمز در حین کار با نیمههادیها بودهاید، میدانید که چه اتفاقی میافتد. این واقعاً یک فاجعه است.
مسئله فقط توقف فرآیند تولید نیست؛ پس از شکستن لامپ، سطح ویفرها پر از تکههای شیشهای و ذرات فلزی میشود. در چنین شرایطی، باید ویفرها را فوراً دور بیندازیم و ساعتها، شاید روزها، برای تمیز کردن محفظه صرف کنیم.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم.
چرا لامپها شکسته میشوند؟
در اکثر موارد، دلیل شکستن لامپ، شوک حرارتی یا نقاط گرم موجود در لامپ است. برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده به اندازه کوارتز ارزانقیمت، تغییر اندازه نمیدهد، بنابراین میتواند در شرایط دمایی شدید، سالم باقی بماند.
همچنین، رشته فیلامنت نیز مهم است؛ اگر این رشته کمی به سمت دیواره لامپ نزدیک شود، کوارتز نرم میشود و لامپ شکسته میشود. ما میزان تفاوت اندازههای مربوط به رشته فیلامنت را تا چند میکرومتر کاهش دادهایم؛ این کار باعث میشود لامپ سالم بماند.
جلوگیری از پخش شدن تکههای شیشهای
حتی با بهترین نوع شیشه، همچنان امکان شکستن لامپ وجود دارد؛ به همین دلیل، از پوششهای ویژه و سپرهای محافظ استفاده میکنیم. این پوششها مانند یک تور محافظ عمل کرده و از پخش شدن تکههای شیشهای جلوگیری میکنند.
همچنین، از درپوشهای محکم و مهرهای با دمای بالا نیز استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود لامپ در جای خود باقی بماند، حتی در زمان لرزش ماشین.
تعادل در عملکرد لامپ
نکته مهم این است که برای داشتن دمای بالا برای ویفرها، باید از لامپهایی با تراکم انرژی بالا استفاده کرد؛ اما این کار باعث افزایش فشار داخلی گاز هالوژن میشود.
در اینجاست که سیستم خنککننده لامپ نقش مهمی ایفا میکند؛ اگر جریان هوا ضعیف باشد، لامپ گرما را در خود نگه میدارد؛ در نتیجه الکترودها گرم میشوند و عمر لامپ کاهش مییابد.
یک نکته دیگر: از کنترلرهای دقیقی استفاده کنید که بتوانند جریان بیش از حد را کنترل کنند؛ این کار باعث میشود از شکستن لامپ جلوگیری شود.