در کارخانههای بستهبندی، دو عامل مانع افزایش بازدهی میشوند: رطوبتی که پس از تمیزکاری باقی میماند، و فوتورزیست که به طور کامل خشک نشده است. آب محبوس شده، هنگام قرار گرفتن در معرض حرارت، باعث ایجاد نقصهایی در ساختار قطعات میشود. فوتورزیستی که به درستی خشک نشده، هنگام برش، باعث ایجاد خراشهای ریزی میشود؛ این خراشها در نهایت منجر به ایجاد ضایعات میشوند. آنچه لازم است، فرآیند حرارتی است که بتواند آب را بدون ایجاد فشار بر روی لایههای نازک، خارج کند و پروفایل فوتورزیست را به شکلی قابل کنترل درآورد.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از فرستندههای نور مادون قرمز نزدیک با سرعت پاسخگویی زیر یک ثانیه استفاده میکنیم؛ این فرستندهها انرژی را مستقیماً به آب و لایه فوتورزیست منتقل میکنند. در یک ویفر ۳۰۰ میلیمتری، این سیستم توانایی حفظ یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد را دارد؛ همچنین، تکرارپذیری دما در هزاران چرخه، در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد باقی میماند. سختافزار این سیستم برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ یعنی طراحی آن به گونهای است که تعداد ذرات در آن به حداقل برسد، مواد استفاده شده دارای میزان گاز خروجی کمی هستند، و تولید هیچ ذرهای در حین پردازش ویفرها نیز وجود ندارد. تعداد ذرات، از طریق فرآیندهای خشک کردن، در سطح پایینی باقی میماند.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ نور مادون قرمز، ویفرها را در عرض چند ثانیه خشک میکند؛ بنابراین زمان پردازش کاهش مییابد، بدون اینکه دمای ویفر بیش از حد افزایش یابد. فرآیند خشک کردن نرم، دما را در محدوده مناسبی نگه میدارد؛ این امر باعث ایجاد سطحی یکنواخت و چسبندگی خوب بین لایهها میشود. فرآیند خشک کردن سخت نیز باعث ایجاد پیوندهای پایدار در لایهها میشود؛ بنابراین استحکام قطعات افزایش یافته و تعداد ضایعات کاهش مییابد. نتیجه این است که نیاز به تولید مجدد کمتر میشود، بازدهی قابل پیشبینی است، و مصرف انرژی نیز در مقایسه با فرآیندهای خشک کردن معمولی، کمتر است. این دستگاهها ۲۴/۷ کار میکنند و تنها دورههای کوتاهی برای تعمیرات لازم دارند؛ همچنین، نظارت مداوم بر عملکرد دستگاهها وجود دارد.
نکاتی که باید در نظر داشت: برای استفاده از نور مادون قرمز، نیاز به خط دید وجود دارد؛ همچنین، فاصله بین فرستنده و ویفر باید ثابت و قابل پیشبینی باشد تا یکنواختی حفظ شود. کنترل دما نیز به پایرومترهای تنظیمشده و جدولهای انتشار نور بستگی دارد. ما دستورالعملهایی برای لایههای رایج در اختیار داریم، اما برای لایههای جدید، نیاز به چرخههای آزمایشی کوتاهی برای تنظیم پارامترها وجود دارد. نصب این دستگاهها در ریلهای استاندارد بسیار آسان است؛ کافی است منبع تغذیه مناسب و زمینبندی مناسب وجود داشته باشد تا سیگنالهای الکترومغناطیسی کنترل شوند.
خلاصه این است که این روش، روشی برای کنترل حرارتی است که برای پردازش ویفرها و فوتورزیست قبل از بستهبندی مناسب است؛ این روش قابل تکرار، تمیز و سریع است.