کاهش انتشار کربن در اتاقهای تمیز: روشی هوشمندانه برای خشک کردن ویفرها
باید صادق باشیم؛ مرحله شستشو در کارخانههای تولید نیمههادی، معمولاً جایی است که انرژی زیادی هدر میرود. این فرآیند، منبع عمدهای از هدررفت انرژی است. برای مدتها، از فرهای بزرگ برای گرم کردن کل اتاق استفاده میشد تا چند ویفر خشک شوند؛ این کار بسیار هدررفتآمیز بود.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب روی آوردیم. به جای گرم کردن هوای اطراف ویفر، گرما را مستقیماً به جایی که آب وجود دارد، هدایت میکنیم. این روش، فرآیندی دقیقتر و کارآمدتر است؛ همچنین به کاهش انتشار کربن کمک میکند.
مقابله با مشکلات ناشی از رطوبت
محیطهای شستشو، بسیار پر از رطوبت هستند؛ اگر حتی یک قطره آب به الکترودهای لامپ برخورد کند، لامپ از کار میافتد. برای جلوگیری از این اتفاق، از غلافهای کوارتزی و درزبندیهای محکم استفاده میکنیم؛ این درزبندیها، مواد داخل لامپ را خشک نگه میدارند، در حالی که بخش خارجی لامپ، مشکلات ناشی از رطوبت را مدیریت میکند. از لامپهای مادون قرمز با موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها میتوانند لایه آب روی ویفر را از بین ببرند. آب نه تنها خشک میشود، بلکه در عرض چند ثانیه از بین میرود.
ساخت کارخانههای سبزتر
اگر میخواهید کارخانهای داشته باشید که به طبیعت آسیب نرساند، باید از پرداخت هزینههای انرژی غیرضروری خودداری کنید. فرهای قدیمی، حتی زمانی که چیزی درون آنها نیست، همچنان گرم باقی میمانند؛ اما سیستمهای مادون قرمز ما متفاوت هستند؛ آنها فقط زمانی فعال میشوند که ویفر وارد منطقه مربوطه شود، و به محض خروج ویفر، خاموش میشوند. هیچ گرمای اضافی وجود ندارد؛ هیچ هزینهی اضافی نیز صرف نمیشود.
البته، باید مراقب باشید؛ این لامپها بسیار گرم هستند. اگر بدنه لامپ برای دفع این گرما مناسب نباشد، ممکن است بدنه لامپ دچار تغییر شکل شود یا دمای ایستگاههای بعدی تحت تأثیر قرار بگیرد. بنابراین، باید جریان هوا را به درستی مدیریت کرد.
نحوه استفاده از این لامپها
بهترین نکته این است که نیازی نیست کل سیستم شستشو را تغییر دهید؛ این لامپها میتوانند جایگزین سیستمهای موجود شوند. کافی است آنها را به سیستم کنترل PLC متصل کنید تا با سرعت انتقال ویفرها هماهنگ شوند.
از آنجایی که این لامپها ضدآب هستند، میتوانید از فشار بالای آب برای شستشو استفاده کنید، بدون اینکه نگران پاشیدن آب باشید.
لطفاً، هر شش ماه یکبار درزبندیها را بررسی کنید؛ این کار فقط پنج دقیقه طول میکشد، اما اگر درزبندیها خراب شوند، لامپ از کار میافتد. این امر باعث از بین رفتن زمان کاری، هدررفت مواد، و تبدیل یک روز خوب به روزی پر از مشکلات میشود.