300 मिमी लंबाई वाली लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 2°C का अंतर कोई समस्या नहीं पैदा करता। ऐसी स्थिति में लाइन की चौड़ाई में हल्का बदलाव होता है, उत्पादन प्रक्रिया में रुकावटें आती हैं, एवं सुबह 7 बजे ही उत्पादन होता है… जबकि ऐसी स्थिति की कोई आवश्यकता ही नहीं है। थर्मल स्थिरता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… यह तो प्रक्रिया का ही हिस्सा है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसे उपकरण लिथोग्राफी प्रक्रियाओं हेतु ही विकसित किए हैं… जिसमें वेफरों के स्तर पर तापमान को ±0.1°C की सीमा में ही रखा जाता है। क्वार्ट्ज-हैलोजन तत्वों के कारण तापमान नियंत्रण में आसानी होती है। NIR विकल्पों के कारण उत्पादन प्रक्रिया तेज हो जाती है… लेकिन तापमान में कोई अतिरिक्त बदलाव नहीं होता।
ये उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी इस्तेमाल किए जा सकते हैं… इनमें कोई कण उत्पन्न नहीं होते… एवं इनकी आयु 5,000 घंटों से अधिक होती है… एवं उत्पादन में 5% से कम बदलाव होता है।
ऐसे उपकरणों को फैक्ट्री में क्यों इस्तेमाल किया जाता है?
इस उद्योग में दोहरावशीलता ही एकमात्र स्वीकार्य मानदंड है। हमारे उपकरण तापमान को नियंत्रित रखते हैं… इसलिए महत्वपूर्ण आयामों पर कोई बदलाव नहीं होता… एवं प्रत्येक बैच में फोटोरेजिस्ट का प्रदर्शन समान ही रहता है।
इससे बिना किसी विलंब के उत्पादन होता है… कम ऊर्जा खर्च होती है… एवं लंबे समय तक उपयोग किए जा सकने वाले उपकरणों के कारण कम ही रिप्लेसमेंट की आवश्यकता होती है। परिणामस्वरूप उत्पादन में कम ही विचलन होता है… एवं OEE भी बेहतर रहता है।
किन बातों की योजना बनानी आवश्यक है?
ये उपकरण सीधे ही मानक बेकिंग प्रक्रियाओं में इस्तेमाल किए जा सकते हैं… लेकिन चैंबर की ज्यामिति एवं गैस प्रवाह के कारण थर्मल कपलिंग में बदलाव हो सकता है। इसलिए उपकरणों को ठीक से ऑपरेट करने हेतु पहले ही परीक्षण किया जाना आवश्यक है… ताकि PID सेटिंग्स ठीक रहें… एवं उत्पादन प्रक्रिया में कोई विचलन न हो।