はじめに 私たちは、工場の稼働を維持するために必要な、高負荷作業用のRTPハロゲンランプを製造しています。これらのランプは、長時間の連続使用や激しい高温環境にも耐えられるように設計されており、プラスチック成形や塗装硬化、材料試験といった作業において正確な温度制御が可能です。 万が一何か問題が発生し...

ファブフロアでは、RTPチャンバー内での一度の熱逸脱が熱予算を瞬時に消費してしまうことがある。フォトレジストのプロファイルはずれ始め、ライン幅制御は狂い、歩留まりに影響が出る。我々は、この不確実性を排除し、サイクルごとに再現可能な加熱を実現するためにRTP用ハロゲンランプの代替品を開発した。 以下...