熱の無駄遣いをやめよう：IRランプの簡単な解決法 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位にエネルギーが散逸してしまいます。半導体製造の現場では、これは大変な問題です。その熱を適切に制御できなければ、その熱のほとんどが装置の内部に当たってしまいます。その結...

ガラスの破片を防ぐ：IRランプの故障対処法 半導体ウェーハの加工に従事している人なら、その状況をよく知っているでしょう。高負荷の処理を行っている最中に、突然IRランプが壊れてしまうのです。 停止時間だけが問題ではありません。それに続くのは悪夢のような状況です。石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲ...

シャードの発生を防ぐ：なぜIRランプの設計が重要なのか 高負荷の半導体製造過程でIRランプが破損する経験がある人なら、その恐怖をよく知っているはずです。それは本当に最悪な状況です。 問題は単に生産が止まるだけではありません。割れたクォーツ管の破片や金属の粉がウェハーの表面に散らばり、その結果、ウェ...

ファブフロアでは、手順はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。 重要な内部要素 これらの...