ウェーハを清潔に保つために：なぜランプの設計が重要なのか 半導体製造工場において、ランプが故障するのは大変な問題です。単に停止時間が発生するだけでなく、その後に起こることも問題です。もし石英管が高温状態で破裂すれば、破片や蒸発した金属が直接ウェーハに降り注ぎます。これにより、ウェーハの品質は即座に...

熱の無駄遣いをやめよう：IRランプの簡単な解決法 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位にエネルギーが散逸してしまいます。半導体製造の現場では、これは大変な問題です。その熱を適切に制御できなければ、その熱のほとんどが装置の内部に当たってしまいます。その結...

ランプの故障によってウェーハを失うことがないようにしましょう。 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。ランプが壊れてしまうのです。単純な話のように思えますよね？ しかし、もしその石英管が破裂してしまったら、大変なことになります。ガラスの破片やハロゲンガスがあちこちに飛...

では、ファブ内でのクォーツシールドについて話しましょう。 半導体や電子製品の製造現場で「スマートな」環境を実現しようとする場合、熱管理が最も重要です。しかし、しばしば見過ごされがちなのが、クォーツガラス製のシールドです。 多くの人はそれを単なるカバーと思っていますが、実際にはそうではありません。実...

ウェーハの硬化処理に使うランプが何かを爆発させないようにする方法 正直に言って、高熱を持つIRランプを揮発性化学物質が充満したチャンバー内に置くのは、非常に危険なことです。作業を行うためには熱が必要ですが、それはまるで可燃性ガスが充満した部屋にスパークプラグを置くようなものです。一般的な市販ランプ...

クリーンルームでの炭素削減：ウェハをより効率的に乾燥させる方法 正直に言って、半導体製造工程における洗浄工程は、エネルギーが無駄に消費される場所です。これは巨大なエネルギー消費源です。長い間、私たちは大規模な対流式オーブンを使って部屋全体を温めて、わずか数枚のウェハを乾燥させていました。これは明ら...

なぜホットエアではなく、金コーティングされたIRを使うべきか もし依然として半導体の処理にホットエアを利用しているのであれば、それは単に時間を無駄にしているだけです。 考えてみてください。空気を加熱し、その空気が部品を温めることを期待しています。しかし問題は、空気は熱を伝えるのが非常に悪いというこ...

バイオセンサーの設置を火災の危険源にしないようにしましょう バイオセンサーを自作する場合、正確なIR加熱が必要です。しかし問題は、その処理を化学洗浄液や揮発性溶剤の近くで行うと、通常のIRランプは実質的に爆発の危険を孕んでいるということです。 少しでもミスがあれば、火災が起きてしまいます。そのため...

もうウェーハを待たせてはいけません：なぜUHP赤外線が最適なのか 半導体製造における加熱という問題について話しましょう。 長年にわたり、私たちは熱風を利用してきました。しかし、問題は、強制送風の速度が遅いということです。つまり、空気を温めるという余分な手間が必要になるのです。これは不要な手順です。...

より良い半導体硬化処理の秘訣：金コーティングされた赤外線ランプ 業界では、鉛を含まない、環境に優しい硬化処理が求められています。それは素晴らしいことですが、実際に機械を操作する人々にとっては悩みの種となります。 ほとんどの工場では依然として対流式オーブンを使用しており、これは基本的に大きなヒーター...

はじめに 私たちは、工場の稼働を維持するために必要な、高負荷作業用のRTPハロゲンランプを製造しています。これらのランプは、長時間の連続使用や激しい高温環境にも耐えられるように設計されており、プラスチック成形や塗装硬化、材料試験といった作業において正確な温度制御が可能です。 万が一何か問題が発生し...

リソグラフィーの工程においては、焼成温度が1℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これだけでも、気づく前に大量のウェーハが廃棄されてしまうことになります。ソフトベイクではフォトレジストの形状を決定し、ハードベイクではその形状を固定します。しかし、ウェーハ全体にわたって均一...

ファブフロアでは、手順はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。 重要な内部要素 これらの...

ファブフロアでは、RTPチャンバー内での一度の熱逸脱が熱予算を瞬時に消費してしまうことがある。フォトレジストのプロファイルはずれ始め、ライン幅制御は狂い、歩留まりに影響が出る。我々は、この不確実性を排除し、サイクルごとに再現可能な加熱を実現するためにRTP用ハロゲンランプの代替品を開発した。 以下...