ファブフロアでは、RTPチャンバー内での一度の熱逸脱が熱予算を瞬時に消費してしまうことがある。フォトレジストのプロファイルはずれ始め、ライン幅制御は狂い、歩留まりに影響が出る。我々は、この不確実性を排除し、サイクルごとに再現可能な加熱を実現するためにRTP用ハロゲンランプの代替品を開発した。
以下がその構造である。ランプはクォーツ封入の中に短波長ハロゲンエミッターを使用し、迅速な放射応答に調整されている。チャンバー形状に合わせてゾーンアレイごとの出力をマッピングし、ウェーハレベルで±0.1℃の均一性を目標としている。クリーンルームClass 1–100環境下で、低アウトガス設計によりベイクおよびアニール時の粒子数の急増を防ぐ。カーボンファイバー断熱材は熱を閉じ込め、スタンバイ電力を削減し、昇温時間を短縮する。出力は5,000時間以上安定し、強度のドリフトは5%未満であるため、工程のCpkが低下しない。
ソフトベイクおよびハードベイクは厳密な熱制御に依存しており、リソグラフィのオーバーレイ精度に直結している。本代替品は、ロット全体を通じてフォトレジスト温度を規格内に維持する。ウォームアップおよびクールダウンの速度向上によりエネルギー消費が減少するが、温度精度は損なわれない。24時間365日稼働を想定して設計されており、予期せぬトラブルの減少および処理ウェーハあたりのコスト低減が期待できる。
交換前には、ベースのフットプリント、端子の向き、電圧が既存のランプソケットと一致しているか確認すること。交換後はチャンバーのキャリブレーションを再確認する。より厳密な均一性によりセットポイントがわずかに変わる可能性があるためである。初回交換時は熱平衡に達するまでのウォームアップがやや長くなることを想定し、短期間の適格性試験を計画して工程ウィンドウを再確立すること。